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  1. 2019年7月24日 · 關於MFM和MFC. 1、 質量流量計,質量流量控制器的概念. 質量流量計,即Mass Flow Meter (MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失准,不需要溫度壓力補償。 質量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恆定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。 質量流量控制器就是一個穩裝置,是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體裝置。 簡單來說,質量流量計只測量不控制。 而質量流量控制器,則帶有控制閥門,既可以測量也可以控制氣體流量大小。

  2. 控制器一般簡稱 MFC(Mass Flow Controller)。 它是一種流量計與控制閥的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般量測體積流速的方法,能夠避免環境壓力與氣體體積的影響,因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中,如:電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。 俊尚科技提供您各款質控制器,產品資料請參考下列內容。 Model Number: EL-FLOW. Power Supply: 15 / 24 Vdc. Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models. Repeatability: <0.2% Rd.

  3. 質量流量控制器是一種緊湊型設備,可通過精確控制流速向過程供應一種或多種化合物(氣體或液體)。 為此,要供應的化合物的流速由電壓、電流或數字(現場總線)源以電子方式設置。 經設備的氣體或液體量由內部傳感器測量。 該測量值與設定點值進行比較。 為了實現兩個值相等,控制閥將改變道的大小(通過打開或關閉)。 在基礎知識中,質量流量控制器是一個質量流量計(即傳感器),結合了控制閥和傳感器與閥門之間的反饋電子設備。 這種控制功能(也稱為 PID,比例-積分-微分)通常是設備電子設備的標準部分,而控制特性可以通過用戶軟件進行調整,以實現快速或平穩的控制。 2. 為什麼要控制質量流量而不是體積流量? 僅僅是因為在許多研究和生產過程中,重要的變量是質量而不是體積。 質量流量控制器可以直接控制質量流量

  4. 訂購資訊. 認證. 特殊需求. 立即詢價. TMFC500質量流量控制器特性|氣體流量控制. 低流量下的高精度. 快速響應 (≦1.0) 提供寬壓力範圍(1300 PSIG) 無洩漏. 無需溫度或壓力. 連接兼容. 高穩定性可拆卸傳感器. 耐腐蝕值. 出色的線性度. 出色的長期穩定性. 模塊化設計. 緊湊型流量控制系統. 產品影片. 好處 : 質量流量控制器應用. 電漿清洗機. 氣體分流閥箱/盤. 氣瓶櫃輸出流量控制. 氣體產生機輸出控制. 火焰焊接控制. TMFM/TMFC系列存在哪些類型的質量流量控制器? 熱質量流量控制器使用氣體的熱質感測技術來控制它們的質量流量。 在 TMFC產品組合中,我們有多個熱質量流量控制器,每個控制器都有自己的傳感器技術: 使用旁路傳感器的質量流量控制器。

  5. 氣體質量流量控制器(MFC)與氣體質量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質量流量功能的裝置。 氣體流量控制器 氣體質量流量 直接測量通過流量計的介質的質量流量,還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。

  6. 質量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制

  7. 氣體質量流量計/質量流量控制器應用. Alicat MFC、MFM從氣體監測分析到工業過程控制。 客戶行業:實驗科研、環境保護、生物醫藥、過程控制、能源化工、半導體電子以及相關的公共事業。 應用領域:計量檢測、洩漏測試、生物發酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。 高層大氣測試. 高空氣球,用來研究天氣模式和了解高層大氣的各個方面,充滿了氦或氫。 他們必須仔細量化有浮力的氣體的質量,以提供所需的升力。 如果氣球升得太高,就會爆炸。 如果太小,氣球就沒有足夠的升力達到理想的高度。 評估浮力的一種常用方法是在地面上使用砝碼和秤來測量升力;但與具有累加器功能的Alicat質量流量控制器相比,這是非常不准確和繁瑣的。

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