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  1. 無塵室管理規範 pdf 相關

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  1. 以下簡單介紹其處理流程:外氣經由外氣空調箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過濾微塵(particle)並控制其溫溼度後,經由回風管道間(Mech. Chase),將無塵室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風管道間之

  2. 無塵室 ,又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室 ,是指一個具有低污染水平的環境,這裡所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。. 更準確地講,一個淨室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用最大顆粒 ...

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  4. 高效濾網 (英語: High-Efficiency Particulate Air ,即 高效率空氣微粒子過濾網 ,簡稱 HEPA [1] [2] )是一種用於 空氣淨化 的器材。. HEPA高效濾網除了攔截大顆粒懸浮物、黴菌孢子、煙霧等...難聞氣味外,亦可遠離過敏源、細菌;可廣泛用於醫療院所、藥廠、航空業 ...

  5. 净室系統 [ 编辑] 净室系統,製造符合規格之潔淨空氣,連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端,無塵室內的製造區(FAB)。. 一般而言,製造潔淨空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經過净室系統各種處理單元設備之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。. 以下 ...

  6. 恆溫恆濕控制. 由於半導體製程對溫濕度變化的大小極為敏感,故在無塵室大部分區域必須控制在± 1°C及± 3%之內。 所需的外氣較多. 由於半導體工廠中,製程系統需使用大量的化學品和毒氣,這些化學品和毒氣所產生的揮發氣體和廢氣必須予以全數排除,故排氣量相當大,為維持無塵室壓力比外面的大氣壓力大,此時所補充的空氣量亦隨之增加。 空調系統24小時全天運轉並監控管理. 半導體工廠部分製程裝置,對溫濕度變化極為敏感,如黃光區Stepper光學機台,些微的溫、濕度變化均會使裝置的準度偏差,另外晶片等產品也必須置放在定溫定濕的環境下,故空調系統必須24小時監控管理之。 半導體廠無塵室室內壓力大小.

  7. 風機過濾機組(英文: Fan Filter Unit,簡稱: FFU),是一種結合送風機與高效濾網(HEPA/ULPA)氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備,主要是用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒,提供潔淨之空氣。

  8. 換氣次數. 換氣次數 ( air exchange per hour )又稱 換氣率 ( air exchange rate ),指單位時間內空氣更換的次數,通過單位時間進入房間的風量(m 3 /h)除以房間體積 (m 3 )計算而得。. 如果房間通風方式為均勻送風或完全混合送風,換氣次數是評價室內空氣換氣頻率多少的 ...

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