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  1. 氣體流量計 mfc 相關

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  1. 質量流量計,即Mass Flow Meter (MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失准,不需要溫度壓力補償。 質量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恆定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。 質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。 簡單來說,質量流量計只測量不控制。 而質量流量控制器,則帶有控制閥門,既可以測量也可以控制氣體流量大小。 2、 質量流量計,質量流量控制器的流量單位.

  2. 控制器一般簡稱 MFC(Mass Flow Controller)。 它是一種流量計與控制閥的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般量測體積流速的方法,能夠避免環境壓力與氣體體積的影響,因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中,如:電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。 俊尚科技提供您各款質流控制器,產品資料請參考下列內容。 Model Number: EL-FLOW. Power Supply: 15 / 24 Vdc. Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models. Repeatability: <0.2% Rd.

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  5. ALICAT微小氣體質量流量計MFM可以用來取代浮子流量計以大幅提高設備精度。 以ALICAT 具備GAS SELECT功能的MFC穩定NZ導入多種反應氣體,並以軟體即時控制記錄,另可選購PCD/PC 壓力控制器控制反應器壓力。

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  7. 氣體質量流量控制器(MFC)與氣體質量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質量流量功能的裝置。 基本介紹. 中文名 :氣體質量流量控制器. 外文名 :MFC. 簡介,常見類型,流量計,簡介,用途,常見問題, 首先區分一下. MFC為Mass Flow Controller的縮寫,即質量流量控制。 流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的,簡稱科氏力。

  8. 質量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種精確測量氣體流量的儀表其測量值不因溫度或壓力的波動而失準不需要溫度壓力補償質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恆定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。 基本介紹. 中文名 :MFC技術知識. 質量流量計 :Mass Flow Meter. p :為氣體的密度. cp :為氣體的定壓比熱. 1. 什麼是質量流量計? 什麼是質量流量控制器?

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