無塵室管理辦法 相關
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無塵室安全工作規範有哪些?
什麼是無塵室?
一、室內天花板、牆壁及地面,保持平滑無裂痕或縫隙,且易於清潔而不發生粉塵,必要時應採用易於消毒清洗之材料。. 二、作業區域有良好之照明及通風設備;必要時,並具有適當之溫度、濕度及潔淨度調節設備。. 三、易燃性或危險性原物料、溶劑 ...
凡需使用無塵室內設備者,考核通過正確設備操作方式後,均有資格申請進入無塵室,但需填寫門禁申請單並給指導教授以及無塵室負 責人簽名。 2.
- 概觀
- 基本介紹
- 基本常識
- 管理制度規範
- 淨化原理
- 組成系統作用
- 節能設計
- 面臨熱點問題
- 等級標準
無塵潔淨室(Clean Room),亦稱為無塵室,潔淨室或無塵車間。它是污染控制的基礎。沒有無塵潔淨室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2裡面,無塵潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、最佳化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程式以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔淨度級別。
一、無塵潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內,而所給予特別設計建成的無塵潔淨房間。
二、無塵潔淨室的原理。潔淨室是利用HEPA、空氣淨化設備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分乾淨。然而潔淨室內除了人以外,尚有機器等之發塵源,這些發生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔淨空間,因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
三、無塵潔淨室中的三塵。無塵潔淨室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔淨室的緩衝通道之一,是控制帶塵的最好淨化設備之一,它可以最大限度地減少員工進出無塵潔淨室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被淨化的空氣進入無塵潔淨區域,達到生產車間所要求的生產潔淨環境。
四,無塵潔淨室最主要之作用在於控制產品(如矽晶片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間我們稱之為無塵潔淨室。按照國際慣例,無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對於光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
一、目的:在生產過程中做好衛生監測與管理,防止交叉污染,對產品質量起到重要的作用,因此特質定無塵潔淨室潔淨區工藝衛生管理制度。
二、範圍:適用於潔淨車間的人流,物流及車間的環境,設施潔淨有關的其它元素的管理
三、工作程式:
1、進入潔淨區工作的人員須經過體檢,取得健康證後才能上崗,每年複查一次,如果不合格者,必須調出,患有感冒的工作人員不得進入潔淨區工作。
2、潔淨區每個人所占面積不得少於4平方米
3、潔淨區內工作服管理見《潔淨區工作服管理制度》
氣流→初效空氣處理→空氣調節→中效空氣處理→風機加壓送風→淨化送風管道→高效送風口→潔淨室→帶走塵埃(細菌) → 迴風夾道→新風、初效空氣處理。
重複以上過程,即可達到淨化目的。
技術參數
換氣次數:十萬級10-15次/小時;
萬級15-25次/小時;
千級50-52次/小時;
過濾器
過濾器的基本知識
過濾器是潔淨室的主要淨化設備,是空氣淨化的主要手段。因此,對於從事潔淨室設計、建造和維護管理人員了解和掌握過濾器的基本知識是十分重要的。
1.過濾器的分類
按過濾器的性能(效率、阻力、容塵量)來劃分,通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞高效、高效(HEPA)和超高效(ULPA)六類過濾器。
我國國家標準《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規定如下:
一、低斷面風速設計
斷面風速就是空氣處理部件中空氣經過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。
大部分工程師根據“經驗”把空氣處理器設計成500英寸/分鐘。這樣的設計雖然節省時間,但是卻增加了運作費用。在低斷面風速設計中,使用更大的空氣處理器和更小的風機,從而降低空氣的流速,降低能耗和設壽命成本。
壓降決定了風機的能量損耗。由“平方定則”可知壓降與速度下降的平方成正比。如果斷面風速降低20%,那么壓降將下降36%;如果斷面風速降低50%,壓降將下降四分之三。根據“立方定則”,風機能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%,風機能耗將下降88%。
因此,較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管面積消耗較少的風機能量,可以使用比較小的風機和馬達。小風機給空氣添加的熱量比較少,降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高,所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷面風速情況下,工作效果更好、壽命更長。
設計減少了空氣和水的壓降,減小了冷卻盤管的帶水量。流線型設計,幾乎沒有尖角,從而使壓降減少10%到15%。
2.1有關推薦或參考值的套用
潔淨室內一定潔淨度下氣流速度的確定,隨潔淨室用途等具體情況而異,它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業潔淨室而言,影響潔淨度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內污染源:建築物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據具體情況而異,變化很大;
(2)室內氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;
(3)自淨時間(恢復時間)的控制要求:潔淨室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔淨度的惡化,恢復到原來潔淨度的自淨時間決定於氣流速度;對自淨時間的控制要求取決於此時間框架內(惡化的潔淨度下),對產品生產的質量及成品率影響的承受能力;
(4)末級過濾器的效率:在一定的室內發塵量下,可採用較高效率的過濾器以降低氣流速度;為節能應考慮採用較高效率的過濾器,並降低氣流速度,或採用較低效率的過濾器並採用較高的氣流速度,以求流量與阻力的乘積最小;
ISO/DIS 14644-1 潔淨室和潔淨區按空氣中懸浮粒子濃度的分級
ISO分級 大於等於表中所列粒徑懸浮粒子最大允許濃度(顆/m3)
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
ISO1級 10 2
ISO2級 100 24 10 4
ISO3級 1000 237 102 35 8
2016年10月21日 · 透過無塵室 (clean room)環境建置以及嚴格流程控管,讓污染控制變得容易。. 這項關於潔淨室 ISO14644 無塵室標準( ISO 14644 clean room standards)提供一些解決方案以及汙染源風險管理所必需要的程序。. ISO 14644 協助改善對於空氣中汙染粒子的管理能力。. 受到良好管制 ...
無塵室又稱淨室、潔淨室或清淨室,是指一個具有低污染的環境,污染源有灰塵、空氣傳播的微生物、懸浮顆粒、和化學揮發性氣體。 更準確地講,無塵室為具有受管控污染級別的製程環境。
為達此目標,台 積公司的執行策略是「遵 守法規承諾、強化資源利用及污染預防、管 控環境風險、深 植環境保護文化、建構綠色供應鏈、善 盡企業社會責任」。. 執 行步驟是先做好內部管理,再推廣至供應鏈,最 後是與產業界、學 術界、政 府部門分享經驗,發揮 ...