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2021年11月30日 · ＃台積電. 王郁倫. 「台灣5年內絕對不止9座晶圓廠規劃興建中！ 」無塵室大廠洋基工程日前剛接獲大立光40億元無塵室空調工程長單，董事長賴有忠30日表示，客戶為避開長期物價波動提前下單態勢十分明顯，洋基工程手上未實現訂單金額已創史上新高，目前他所知半導體新廠也不止9座。 2021～2022年台灣興建及規劃中晶圓廠數超過6座，加上台積電又傳在高雄設廠，台灣半導體產業在可見的未來建廠動作頻頻，身為無塵室設備工程二哥（漢唐集成為龍頭），洋基工程今年營收達100億元，創史上新高，獲利淨額也挑戰新高。 董事長賴有忠是目前洋基工程四位創辦人唯一還在打拼的一位。 圖／ 王郁倫攝影.
2020年4月22日 · 在台積電法說會上，EUV是近年不斷提到的微影製程名稱，也是現今能在晶片上畫出最精密線路的光罩技術，究竟微影技術是什麼？在神秘的半導體無塵室如何進行？這家全球最大微影設備供應商ASML用影像視覺揭露微影技術的真實樣貌。
2024年1月11日 · 」無塵室工程商聖暉工程發言人梁鈞幃說。 如今，半導體廠會在建置時根據不同的化學物質拉出專線，同時引進能回收再利用的設備，如朋億提供對光阻液進行回收再利用的機台。 圖／ 數位時代. 半導體廠目前針對廢棄物再生的處理選擇分為2種：自己做或交給外部廠商處理。 前者如台積電攜手中科打造零廢中心，目標為每年減少14萬噸園區外廢棄物處理量能；聯電也斥資新台幣18億元在南科成立「循環經濟資源創生中心」，於2025年啟用，包含將污泥轉化為螢石提供給鋼鐵業、廢液轉和為工業用異丙醇等項目，每年將減少1.5萬公噸的半導體廢棄物。 下游的封測大廠日月光也設立「資源再生中心」，讓廢塑料、廢液、廢膠條、包材和研磨廢水等製程廢棄物回收再利用。 余佩儒透露：「對於再生這一塊，日月光很開放，也積極在尋找新的解決方案。
2021年5月7日 · 第三類化合物半導體大廠穩懋，宣佈加碼擴充產能迎接新應用商機，包括南科新廠及龜山C廠無塵室工程，未來建廠投資上看100億元。 採訪中心. 砷化鎵晶圓代工龍頭穩懋半導體7日召開董事會，通過擴大產能投資案，預估2021年起3年內投資100 億元，在南部科學園區高雄園區路竹廠建置晶圓廠及周邊相關廢水、機電等附屬設施，目標3年後量產。 穩懋團隊。 圖／ 穩懋團隊. 穩懋指出，2021年的擴充計畫將著重在晶圓廠基礎建設的開發，包括南科高雄新廠房的動土興建及龜山C廠的無塵室工程，都是為未來數年的新產能開出預做準備。 路竹廠面積9.7公頃，下半年建廠，建廠主要是因應長期營運成長所需產能部分，至於2020年剛完成的5,000片新月產能擴增，則將是今年業績動能來源。 穩懋是台灣最大砷化鎵代工廠。 圖／ 穩懋.
2023年4月10日 · 濾能於2014年成立，提供微污染（AMC, Airborne Molecular Contamination）防治服務，透過濾網的材料研發創新，防止空氣中看不見的氣體分子飄落，避免在無塵室內造成污染導致設備耗材的多次更換，或良率低落的晶圓產生。
2024年2月19日 · 微矽已有兩間廠房，看好未來趨勢發展已啟動擴建計畫，竹南廠房將自3723坪擴充至5768坪，預期增加100組晶圓測試設備，和50%的晶圓薄化產能。當中的六成都是針對第三代半導體的擴產，預期2024年第三季包含無塵室將全數完工。
2014年10月14日 · 富士通和Toshiba之所以投入植物工廠，主要是為了妥善利用無塵室空間。在無塵室栽培蔬菜，可以隔絕昆蟲和動物，並在不使用農藥的情況下避免病蟲害，不但保持蔬菜的賣相，也讓消費者吃得安心。
