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2022年9月12日 · 根據經發局資料，家登是全台唯一獲選國際18吋半導體設備、國際標準規格制訂廠商；同時也是全球半導體曝光機龍頭廠艾司摩爾（ASML）的EUV光罩盒 ...
2021年1月27日 · 由於EUV光罩屬高單價產品，且無法貼上傳統的保護膜（Pellicle）來防止微粒的污染，因此一定要透過特殊設計的光罩盒保護。EUVL光罩載具包含內盒和外盒，內盒可以代替光罩保護膜，防止微粒污染。
2023年3月8日 · 家登是全球極紫外光光罩盒（EUV Pod）的最大供應商，包括擁有全球最多EUV機台的台積電及英特爾（Intel）、三星（Samsung）等都是客戶，「我們全球市佔率逾八成，在台灣更是唯一的供應商，市占近百分之百。 」邱銘乾自豪地向本刊分享家登在半導體的地位。 然而，家登現在看來成績雖亮眼，但一路走來並非順遂。...
2021年2月21日 · 在台積電、三星、英特爾在角逐先進製程過程中，因極紫外光微影（EUV）技術能打破前一代微影技術的尺寸限制，此技術因而嶄露頭角，也讓光罩傳載盒（EUV Pod）成為當紅炸子雞，本土的家登和美商英特格（Entegris）是兩大主力供應商。
應用於半導體黃光製程自動化光罩清洗設備，可清洗光罩的Glass Side、Pellicle Side與barcode (edge)兩側區域，可有效清潔光罩上的particle與Glass side HAZE汙染，快速讓光罩恢復生產。
極紫外光微影 （英語：extreme ultraviolet lithography，中國大陸稱為 極紫外光刻 ，簡稱「EUV」或「EUVL」）又稱作 超紫外線平版印刷術, 是一種使用 極紫外光 波長的 微影 技術，目前用於7 奈米 以下的先進製程，於2020年得到廣泛應用 [1] [2] [3] [4] 。 DUV微影製程 [ 編輯] 晶圓製造過程裡有一道程序是將設計好的電路圖案 (Pattern)縮小轉印到晶圓上，此道製程便稱之為 微影, 7奈米以前的製程使用248或193奈米波長的光做為光源來進行微影。
2022年9月12日 · 家登董事長邱銘乾（中）今信心十足且霸氣宣示「EUV光罩盒我說了算」，台灣廠商機會已來到，因產能吃緊，預期家登下半年營運表現將會比上半年好，明年還會比今年更好。. （記者洪友芳攝）. 〔記者洪友芳／新竹報導〕半導體市況雖降溫，先進製程 ...
2021年12月30日 · 家登通過ASML認證的EUV光罩盒，提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可. 圖／ 家登精密. 另一方面，邱銘乾指出，接下來3奈米將成為先進製程的主力節點，對於EUV光罩盒的需求只會有增無減，將為家登精密帶來更高的成長動能；舉例來說，家登精密子公司家登自動化就順勢在今年取得5~6億元的成績，預期明年將有30~40%的成長。 說起家登精密是一家非常有趣的公司，過去曾與另一家供應EUV光罩業者英特格進行專利訴訟之戰，當時在英特格的窮追猛打下，曾一度無法存活，所幸在各界幫忙與台積電以抵押廠房、專利等不同形式的資金協助，轉而其死回生。
EUV POD(通過ASML認證) 以子母盒雙層設計，提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可於真空環境下操作。 支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
英特格 極紫外光（EUV）光罩傳送盒. 英特格 (Entegris)的雙吊艙設計提供了內部和外部吊艙，可維持無污染的環境，應用於極紫外光 (EUV)微影技術的晶片大量生產，以保護製造過程中光罩的完整。. 1008 Series EUV Pods. Extreme ultraviolet light (EUV) reticle pod is designed to provide ...
