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  1. 無塵室 ,又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室 ,是指一個具有低污染水準的環境,這裡所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。 更準確地講,一個無塵室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用最大顆粒大小來厘定的。 低階別的無塵室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰塵。 淨室的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。 亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室。

  2. ,又稱 无尘 、 潔淨 或 清淨 ,是指一个具有低污染水平的环境,這裡所指的污染來源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。 更准确地讲,一个净具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。 低级別的净通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰尘。 淨的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。 亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室

  3. 有一個專注於研發10奈米製程技術的300毫米無塵室450毫米無塵室也已準備好和一個用來進行研究發展需求導向發展原型和小批量製造超過摩爾定律的技術傳感器致動器和MEMSNEMS等之200毫米無塵室

  4. 淨室設計 (英語: Clean room design ),也稱 中國牆 技術 ( Chinese wall technique ),是一種以 逆向工程 然後重新創作以複製某項設計,但不會侵犯與原始設計相關的任何 著作權 方法。 淨室設計有助於防止侵犯著作權,因為它立足於獨立的發明創造。 但是,因為獨立的發明創造不是對抗 專利 的有效辯護,淨室設計通常不能用於規避專利限制。 該術語意指設計團隊在未使用競爭對手任何專有技術知識的「乾淨」或明顯不受污染的環境中工作。 通常來說,淨室設計會先讓某人檢查系統如何重新實現,並撰寫一份規範。 然後 律師 審查這份規範,確保其不包含受到著作權保護的資料。 最後由與原檢查員無關的團隊實現該規範。 例子 [ 編輯]

  5. 換氣次數 - 維基百科,自由的百科全書. 目次. 換氣次數 ( air exchange per hour )又稱 換氣率 ( air exchange rate ),指單位時間內空氣更換的次數,通過單位時間進入房間的風量(m 3 /h)除以房間體積 (m 3 )計算而得。 如果房間通風方式為均勻送風或完全混合送風,換氣次數是評價室內空氣換氣頻率多少的一個指標。 在許多室內通風的案例中,室內空氣既不是均勻送風也不是完全混合送風,一個房間空氣更換的百分比決定於 換氣效率 和通風方式。 在完全混合通風案例中,當換氣次數為1次/h時,一小時後將有63.2%的空氣將會被更換。 為了保持氣壓的平衡,送風量和排風量必須相等。 換氣係數計算式為: 其中: N = 換氣次數(h -1)

  6. 工具. 無塵室中一組商用反應離子蝕刻設備. 反應離子蝕刻英文Reactive-Ion Etching或簡寫為RIE是一種半導體生產加工工藝它利用由電漿體強化後的反應離子氣體轟擊目標材料來達到 刻蝕 的目的。 氣體在低 壓 ( 真空 )環境下由 電磁場 產生,電漿體中的高能 離子 轟擊晶片表面並與之反應。 設備 [ 編輯] RIE系統的典型的設備(平行板式)一般包括一個圓柱形真空室,真空室底部放置用來放晶片盤子。 盤子與室體的其他部分絕緣。 氣體由小口注入真空室上部,由底部排出進入真空泵。 氣體的種類和多少取決於蝕刻的程序。 比如, 六氟化硫 經常用來蝕刻 矽 。

  7. 高效濾網 (英語: High-Efficiency Particulate Air ,即 高效率空氣微粒子過濾網 ,簡稱 HEPA [1] [2] )是一種用於 空氣淨化 的器材。 HEPA高效濾網除了攔截大顆粒懸浮物黴菌孢子煙霧等...難聞氣味外亦可遠離過敏源細菌可廣泛用於醫療院所藥廠航空業食品業研究單位電子廠無塵室。 [3] 濾網的標準由美國能源部設定,對粒徑在0.3μm的粒子, 過濾效果約為DOP 99.97%以上。 通常使用的高效濾網可達到99.99%的攔截效率,也有更高或相對低一些的品項,各國有相應的規格標準。

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