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ERS electronic 推出具有光熱拆鍵合和晶圓清洗功能的全自動 Luminex 機器 | Taiwan News | May. 30, 2024 17:38
慕尼黑2024年5月30日 /美通社/ -- 半導體製造業提供溫度管理解決方案的領導者 ERS electronic 宣布推出 Luminex 產品線的兩款新型全自動機器。LUM300A1 和 LUM300A2,這兩款機器專為處理 300 毫米基板而設計,均採用 ERS 最尖端的光熱拆鍵合技術,為臨時貼合與剝離製程提供空前的靈活性、成本效益和產出率。 「對於可靠的基板(晶圓或& ...
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