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2022年9月12日 · 根據經發局資料，家登是全台唯一獲選國際18吋半導體設備、國際標準規格制訂廠商；同時也是全球半導體曝光機龍頭廠艾司摩爾（ASML）的EUV光罩盒 ...
2024年6月28日 · 更多的EUV機台，帶動EUV光罩盒使用量同步成長，法人認為，家登將為其中最受惠業者，FOUP（前開式晶圓傳送盒）持續搶攻市占率，相較競爭對手，家登自建熱風抽氣環境，將塑膠粒或是汙染粒子排除，直接送至客戶廠區即可上機；同時，ASML High-NA
2021年12月30日 · 不過這個EUV光罩盒煙硝戰並非止步於此，就在11月底，家登精密反控告美商英特格（Entegris）侵害其EUV光罩盒與FOUP的專利，並求償新台幣 1 億元。 提早佈局專利陷阱，盼能成為晶圓傳載的ASML
2021年1月27日 · 由於EUV光罩屬高單價產品，且無法貼上傳統的保護膜（Pellicle）來防止微粒的污染，因此一定要透過特殊設計的光罩盒保護。EUVL光罩載具包含內盒和外盒，內盒可以代替光罩保護膜，防止微粒污染。
2020年7月9日 · 台積公司首創「乾式EUV光罩潔淨技術」，累計創造新台幣20億元改善效益. 台積公司領先全球導入極紫外光（EUV）微影製程技術，協助客戶快速實現先進產品設計。. 為達優質的EUV微影良率並實踐綠色製造使命，台積公司首創環境友善的「乾式EUV光罩潔淨 ...
應用於半導體黃光製程自動化光罩清洗設備，可清洗光罩的Glass Side、Pellicle Side與barcode (edge)兩側區域，可有效清潔光罩上的particle與Glass side HAZE汙染，快速讓光罩恢復生產。
2024年1月24日 · 全球晶片微影技術領導廠商艾司摩爾（ASML）是唯一具有極紫外光（EUV）光刻機製造實力的廠商，隨著AI帶動EUV技術需求，分析師看好ASML今年出貨及獲利成長，ASML台灣供應鏈中家登、帆宣及公準三家台廠去年全年營收同步創歷史新高，今年營運在ASML推升下也可望 ...
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家登的EUV光罩盒有何重要性?
光罩盒是什麼?
EUV極紫外光刻機有什麼缺陷?
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為什麼要用EUV?
