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  1. 分光干涉式膜厚計. 向量測目標照射寬波長頻帶的光,對表面和背面反射的光的干涉強度光譜進行FFT分析,從而量測膜厚。. 用量測結果除以量測目標的折射率求出膜厚。. 光源有SLD、LED、鹵素燈等,依據膜厚範圍、光點尺寸、速度、壽命等選擇。. 量測多層時 ...

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