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  1. 無塵室 ,又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室 ,是指一個具有低污染水平的環境,這裏所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。 更準確地講,一個無塵室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用最大顆粒大小來厘定的。 低階別的無塵室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰塵。 淨室的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。 亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室。

  2. 序言. 設備. 反應離子刻蝕. 臺灣正體. 工具. 無塵室中一組商用反應離子蝕刻設備. 反應離子蝕刻英文Reactive-Ion Etching或簡寫為RIE是一種半導體生產加工工藝它利用由電漿體強化後的反應離子氣體轟擊目標材料來達到 刻蝕 的目的。 氣體在低 壓 ( 真空 )環境下由 電磁場 產生,電漿體中的高能 離子 轟擊晶片表面並與之反應。 設備 [ 編輯] RIE系統的典型的設備(平行板式)一般包括一個圓柱形真空室,真空室底部放置用來放晶片盤子。 盤子與室體的其他部分絕緣。 氣體由小口注入真空室上部,由底部排出進入真空泵。 氣體的種類和多少取決於蝕刻的程序。 比如, 六氟化硫 經常用來蝕刻 矽 。

  3. 無塵室 ,又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室 ,是指一個具有低污染水平的環境,這裡所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。 更準確地講,一個淨室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用最大顆粒大小來厘定的。 低級別的淨室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰塵。 淨室的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。 亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室。

  4. 無塵室 ,又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室 ,是指一個具有低污染水準的環境,這裡所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。 更準確地講一個無塵室具有一個受控的污染級別污染級別可用每立方米的顆粒數或者用最大顆粒大小來厘定的。 低階別的無塵室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰塵。 淨室的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。 亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室。

  5. HEPA高效濾網除了攔截大顆粒懸浮物黴菌孢子煙霧等...難聞氣味外亦可遠離過敏源細菌可廣泛用於醫療院所藥廠航空業食品業研究單位電子廠無塵室。[3] 濾網的標準由美國能源部設定對粒徑在0.3μm的粒子, 過濾效果約為DOP 99.97%

  6. 漢唐集成股份有限公司(英語: United Integrated Services Co., Ltd.,英文縮寫UIS)簡稱漢唐集成,是一家台灣股票上市公司,成立於1982年9月13日,創辦人王燕群,最初名稱為「漢唐科技工程有限公司」。 2000年年3月14日,於證交所掛牌上市。 主要經營半導體、光電等高科技廠房維護、系統建造、設計、 ...

  7. 维基百科,自由的百科全书. NASA 的淨室. 建設中的 微電子 生產用無塵室. 全套的無塵室服裝. 净室 ,又稱 无尘室 、 潔淨室 或 清淨室 ,是指一个具有低污染水平的环境,這裡所指的污染來源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。 更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。 低级別的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰尘。 淨室的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。 亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室。