氣體流量計 mfc 相關
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穩定監控氣體流量的重要工業設備. MFC，全名為 Mass Flow Controller，中文稱為「質量流量控制器」，它可以精準測量氣體或液體在單位時間內通過管道的有效截面流量，更能主動控制流量，讓氣體或液體的流速不會受到環境條件或大氣壓力影響，能夠維持在穩定 ...
2019年7月24日 · 質量流量計，即Mass Flow Meter (MFM)，是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失准，不需要溫度壓力補償。 質量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恆定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。 質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。 簡單來說，質量流量計只測量不控制。 而質量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。 2、 質量流量計，質量流量控制器的流量單位.
質流控制器一般簡稱 MFC（Mass Flow Controller）。 它是一種流量計與控制閥的精密機電組合，與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速，不同於一般量測體積流速的方法，能夠避免環境壓力與氣體體積的影響，因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中，如：電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。 俊尚科技提供您各款質流控制器，產品資料請參考下列內容。 Model Number: EL-FLOW. Power Supply: 15 / 24 Vdc. Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models. Repeatability: <0.2% Rd.
質量流量控制器是一種緊湊型設備，可通過精確控制流速向過程供應一種或多種化合物（氣體或液體）。 為此，要供應的化合物的流速由電壓、電流或數字（現場總線）源以電子方式設置。 流經設備的氣體或液體量由內部傳感器測量。 該測量值與設定點值進行比較。 為了實現兩個值相等，控制閥將改變流道的大小（通過打開或關閉）。 在基礎知識中，質量流量控制器是一個質量流量計（即傳感器），結合了控制閥和傳感器與閥門之間的反饋電子設備。 這種控制功能（也稱為 PID，比例-積分-微分）通常是設備電子設備的標準部分，而控制特性可以通過用戶軟件進行調整，以實現快速或平穩的控制。 2. 為什麼要控制質量流量而不是體積流量？ 僅僅是因為在許多研究和生產過程中，重要的變量是質量而不是體積。 質量流量控制器可以直接控制質量流量。
- 概觀
- 基本介紹
質量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恆定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。
•中文名：MFC技術知識
•質量流量計：Mass Flow Meter
•p：為氣體的密度
•cp：為氣體的定壓比熱
1. 什麼是質量流量計？什麼是質量流量控制器？
質量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償
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質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恆定在設定...
適用於台灣工廠常見的多種氣體，並能透過參數切換設定，單一規格就可量測多種氣體，將製程消耗的氣體可視化管理，協助廠區完成製程碳排數據化，另具有低壓損設計，適用於低壓氣體流量控制，質量流量不受環境溫度變化的影響，不需加裝溫度及壓力計。
