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  1. 氣體流量計 mfc 相關

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  1. 質量流量計,即Mass Flow Meter (MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失准,不需要溫度壓力補償。 質量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恆定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。 質量流量控制器就是一個穩流裝置,是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。 簡單來說,質量流量計只測量不控制。 而質量流量控制器,則帶有控制閥門,既可以測量也可以控制氣體流量大小。 2、 質量流量計,質量流量控制器的流量單位.

  2. 質流控制器一般簡稱 MFC(Mass Flow Controller)。 它是一種流量計與控制閥的精密機電組合,與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速,不同於一般量測體積流速的方法,能夠避免環境壓力與氣體體積的影響,因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中,如:電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。 俊尚科技提供您各款質流控制器,產品資料請參考下列內容。 Model Number: EL-FLOW. Power Supply: 15 / 24 Vdc. Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models. Repeatability: <0.2% Rd.

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  4. 代理Proterial 在台灣地區銷售 Aera MFC (氣體控制用質量流量控制器) ,並設有原廠售後服務及維修中心,可在台灣即時維修調校。 (日立金屬 ,Hitachi Metals自2023年1月起更名Proterial)

  5. 氣體質量流量控制器 (MFC) HORIBA-STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客户不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有廣泛的流量範圍,客户可選擇最適合的類型。客户可選擇熱式閥門、電磁 ...

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  7. 質量流量控制器是一種緊湊型設備,可通過精確控制流速向過程供應一種或多種化合物(氣體或液體)。 為此,要供應的化合物的流速由電壓、電流或數字(現場總線)源以電子方式設置。 流經設備的氣體或液體量由內部傳感器測量。 該測量值與設定點值進行比較。 為了實現兩個值相等,控制閥將改變流道的大小(通過打開或關閉)。 在基礎知識中,質量流量控制器是一個質量流量計(即傳感器),結合了控制閥和傳感器與閥門之間的反饋電子設備。 這種控制功能(也稱為 PID,比例-積分-微分)通常是設備電子設備的標準部分,而控制特性可以通過用戶軟件進行調整,以實現快速或平穩的控制。 2. 為什麼要控制質量流量而不是體積流量? 僅僅是因為在許多研究和生產過程中,重要的變量是質量而不是體積。 質量流量控制器可以直接控制質量流量。

  8. 危險區域的氣體流量控制 與 Bronkhorst® 控制閥結合使用,質量流量計 (MFM) 可用作質量流量控制器 (MFC)。 控制閥可以選擇一體式或者分體式安裝,以測量和控制氣體流量。 EX-FLOW 閥配備防爆線圈,有兩種型號可供選擇:

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