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2020年3月16日 · 采用管式 PECVD 的方法对 硅片 进行氮化硅镀膜,通过分析PECVD镀膜原理,探索了硅片表面均一性、卡点的导电导热性、反应温度的均匀性以及电场均匀性对氮化硅膜色差的影响。 结论表明,硅片表面微观结构差异较大会造成比表面积明显差异,从而使氮化硅薄膜厚度产生显著差异,表现出不同颜色。 当导电导热性、反应温度的均匀性以及电场均匀性较差时,气体的反应速率差异较大,同一硅片不同区域的氮化硅膜层生长速率不同,膜层厚度也不同,即容易产生色差片。 (来源:微信公众号“摩尔光伏”) 0引言. 随着技术的不断成熟,要求太阳电池的质量和外观也越来越高。
2024年4月8日 · 2024年光伏新时代论坛暨第十三届‘北极星杯’光伏影响力品牌颁奖典礼. 近日,国务院国资委发布了《中央企业科技创新成果产品手册(2023年版)》,涉及电子元器件、零部件、仪器设备、软件产品、新材料、工艺技术、高端装备7个领域共202项成果 ...