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4 天前 · 近日,市场监管总局批准建立平面结构纳米线宽标准物质([2024]国标物证字第5975号)和立体结构纳米线宽标准物质([2024]国标物证字第5976号),打通极小纳米线宽量值向硅晶格常数溯源的计量途径,成为我国集成电路晶体管栅极线宽溯源最精准“标尺”,支撑集成电路制造向极微观尺度迈进,提升 ...