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台特化:日本曾限制銷韓半導體製程氣體明年貢獻營收
台特化總經理張雄飛今天表示,除半導體製程用特殊化學氣體,從矽甲烷擴充至價格更高的矽乙烷、矽丙烷之外,今年開發出來、用於乾式蝕刻製程的無水氟化氫,明年第1季可望貢獻營收。
中央社
4 小時前
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