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BROOKS MFC (Mass Flow Controller) 質流量控制器提供了精密的流量控制.所以在各種需要精密流量控制的產業均可見其應用.目前 BROOKS MFCs 應用範圍遍及 半導體 / 光電 / 太陽能 等領域.BROOKS 同時也是MFC 的世界領導品牌. 鑑於對精密控制愈見要求的 300mm 產品,BROOKS MFCs 也在規格上不斷的提昇.現行提供最新的 GF125 於高階的製程上,GF125 除了RoHS 驗證通過外,同時在精度,反應時間等規格上提供了最好的選擇.BROOKS/旭福 希望能在最新更好的技術領域上,持續提供服務.
Brooks(USA) - 氣體質量流量計：顯示氣體流量 - 氣體質量流量控制器：顯示氣體流量、控制氣體流量、控制流量開關 特點： 數位和類比訊號輸出 互補金屬氧化半導體元件 不受溫度及壓力變化影響 最小壓力損失 高精準度和高解析度 外型設計美觀 規格：
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气体. 流量范围-满量程容量. 3 sccm - 2500 lpm. 精度. ± 0.6% of SP. 最大压力. 4500 psig. 温度. 65 o C. 输出类型. Analog & Digital. 金属密封热. 适用于对湿度或氧气敏感的过程. 高纯度流路可最大限度降低过程污染，提高产率. 超快速响应能力.
SPECIFICATIONS. Flow Ranges. Any range from zero to 3 sccm* to zero to 30,000 sccm nitrogen equivalent. *Standard pressure and temperature in accordance with SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute) proposed standard: 0°C and 101 kPa (760 Torr). Note: For full scale flow ranges greater than 50sccm Nitrogen equivalent.
