光學膜厚儀 相關
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光學膜厚量測儀如何進行fitting比對?
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光學膜是什麼?
技術原理. 光學膜厚量測儀主要是使用垂直的光源入射樣品,偵測反射光譜的非接觸技術,不需要任何樣品準備就可以測量厚度,適用於半透膜樣品,只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度,光學膜厚量測儀還可以測量多層薄膜的厚度。 分析應用. 薄膜厚度量測. 多層膜厚量測. 可量測介電層、氧化層、金屬膜等,有機、無機膜厚均可量測. 最小量測尺寸 10um. 厚度範圍:20nm~20um. 機台種類. 圖-1 Filmetrics F40. 應用實例. 圖2 單層薄膜厚度量測 (SiO2:316.38nm) 圖3 多層薄膜厚度量測 (Si:614.2nm / W:54.63nm / Si3N4:122.4nm) 常見問題. Q1. 光學膜厚量測儀樣品分析尺寸大小限制 ?
產品分類. 膜厚儀. 以『光學』『非接觸』『高精度』為主軸,配合大塚電子的核心技術光譜儀為心臟部位製成的膜厚量測儀,可在短時間內完成膜厚測量。 非破壞式膜層進行高速膜厚解析,有平行光、顯微鏡、橢圓偏光、全幅寬、產線專用等. 選擇,是企業膜厚計選擇最好的解決方案。 相關技術應用可參考 📖 技術文章-膜厚儀📖. 應該如何選擇膜厚儀 🔖膜厚計推薦選擇指南🧾. 也可以直接洽詢我們 📞洽詢膜厚相關設備📧. 部分機型提供付費委測服務 🔬付費委測服務說明🥼. 顯微分光膜厚量測儀OPTM series. 高精度、高再現性量的非接觸式顯微膜厚計。 最小對應spot約3μm、單點對焦加量測於1秒內完成. 橢圓偏光量測儀FE-5000S. 使用光譜橢圓法分析方法的薄膜厚度測量儀。 優恵的價格提供薄膜的全方位量測。
一般膜厚量測儀在量測高分子膜或玻璃等透明基材時,會受到最基材底層反射光影響而無法量測。 OPTM使用專利鏡頭,物理性去除透明基板的裏面反射進行高精度測定。 另外,SiC或PET等具有光學異方性基材,也能不受影響進行測定。 (專利取得 第5172203号) XY自動載台可在1分鐘內完成25點膜厚測繪. OPTM搭配XY自動載台有高速對焦 (Auto focus)功能,其中一個點的對焦加量測在1秒內完成。 完成8吋晶圓測繪25點用不到1分鐘. 對焦+量測實測影片. 顯微分光膜厚分析儀OPTM. 快速的量測與對焦~沒想到顯微鏡自動對焦也能這麼快。 完成一整片wafer的49點mapping會花多久時間呢?今天我們來實測看看. READ MORE. 紫外光波長可量測極薄膜膜厚.
膜厚量測儀FE-300. 薄膜到厚膜的量測範圍、UV~NIR光譜分析. 高性能的低價光學薄膜量測儀. 藉由絕對反射率光譜分析膜厚. 無複雜設定,操作簡單,短時間內即可上手. 線性最小平方法解析光學常數(n:折射率、k:消光係數). 前往洽詢車.
2023年7月19日 · 膜厚是多個產業都需要監控的物性值,以光學式可以達到快速、非破壞、高精度、聚焦小面積等特性,為您介紹光干涉法的原理以及適用範圍。 產品資訊:顯微分光膜厚量測儀OPTM serieshttps://www.otsuka-tw.com/product-detail/OPTM/...
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- 大塚科技股份有限公司
F20是世界上最暢銷的桌上型薄膜厚度量測系統,提供多種附件和厚度覆蓋範圍。 在全球有數百種應用,膜厚和折射率可以在不到一秒的時間內完成測量。 不同型號的 F20 主要區別在於厚度測量範圍,而厚度測量範圍又取決於儀器的波長範圍。 有多種配件選擇,可滿足絕大部分薄膜厚度量測需求。 F3-sX採用近紅外光(NIR)來測量膜層厚度,可測量許多半導體及不透明膜層的厚度,可測厚度達3mm。 此類厚膜,相較於較薄膜層表面較粗糙且不均勻。 F3-sX系列配置10微米的測試光斑直徑,因而可以快速容易的測量其他膜厚測試儀器不能測量的材料膜層。 而且能在一秒內完成量測。 詳細規格. F40是結合顯微鏡物鏡和彩色攝影機的膜厚量測儀,適合需要在待測樣品表面上進行微小限定區域的量測,或者其他應用要求小光斑時的最好選擇。
手動光學薄膜厚度量測儀. 介紹. 下載. 標準片及相關耗材與配件. 本膜厚量測系統特色在於即時快速量測。 本膜厚量測系統包含兩種接收模式:反射式光纖模式 (如圖1)及反射式積分球模式 (如圖2) 圖1 - 反射式光纖模式 圖2 - 反射式積分球模式. 當樣品的表面是光亮的鏡面時,我們建議以反射式光纖量測。 而表面粗糙的樣品,以一般量測時,光線將被散射掉。 這時建議最好使用反射式積分球量測。 在反射式積分球量測模式下,樣品直接與積分球連接,確保所有的光都能被接收,能幫助得到精確的膜厚量測結果。 〈 返回列表 │ 下一筆. 本膜厚量測系統特色在於即時快速量測。 本膜厚量測系統包含兩種接收模式:反射式光纖模式 (如圖1)及反射式積分球模式 (如圖2)