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光學膜厚量測儀 (Thin Film Analyzer) 技術原理. 光學膜厚量測儀主要是使用垂直的光源入射樣品，偵測反射光譜的非接觸技術，不需要任何樣品準備就可以測量厚度，適用於半透膜樣品，只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度，光學膜厚量測儀還可以測量多層薄膜的厚度。 分析應用. 薄膜厚度量測. 多層膜厚量測. 可量測介電層、氧化層、金屬膜等，有機、無機膜厚均可量測. 最小量測尺寸 10um. 厚度範圍：20nm~20um. 機台種類. 圖-1 Filmetrics F40. 應用實例. 圖2 單層薄膜厚度量測 (SiO2：316.38nm) 圖3 多層薄膜厚度量測 (Si：614.2nm / W：54.63nm / Si3N4：122.4nm) 常見問題. Q1.
依據目標物的形狀和材質、測量儀的種類等多個因素，選擇最適合膜厚的量測方法十分重要。 若是選擇了不適合的測量儀，可能導致無法達到要求精度，或是運用工時增加等，因此需要盡量避免。
Home > Products > Filmetrics 薄膜厚度量測 > 膜厚量測儀. Filmetrics 在全球已賣出超過五千台的膜厚量測儀，以其操作簡單及量測快速聞名。. 只需要點擊一下滑鼠，我們就可以通過分析薄膜如何反射光 (反射光譜) 來獲得薄膜特性。. 不論您是想要知道薄膜厚度、光學 ...
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厚膜光刻是什麼?
什麼是接觸式膜厚計?
產品分類. 膜厚儀. 以『光學』『非接觸』『高精度』為主軸，配合大塚電子的核心技術光譜儀為心臟部位製成的膜厚量測儀，可在短時間內完成膜厚測量。 非破壞式膜層進行高速膜厚解析，有平行光、顯微鏡、橢圓偏光、全幅寬、產線專用等. 選擇，是企業膜厚計選擇最好的解決方案。 相關技術應用可參考 📖 技術文章-膜厚儀📖. 應該如何選擇膜厚儀 🔖膜厚計推薦選擇指南🧾. 也可以直接洽詢我們 📞洽詢膜厚相關設備📧. 部分機型提供付費委測服務 🔬付費委測服務說明🥼. 顯微分光膜厚量測儀OPTM series. 高精度、高再現性量的非接觸式顯微膜厚計。 最小對應spot約3μm、單點對焦加量測於1秒內完成. 橢圓偏光量測儀FE-5000S. 使用光譜橢圓法分析方法的薄膜厚度測量儀。 優恵的價格提供薄膜的全方位量測。
打開網頁查找各種原理、各種廠牌的膜厚計（膜厚儀），你會發現市面上產品琳瑯滿目，不知道該從何挑選？ 基本上，大致可分成2種：接觸式（破壞式）以及非接觸式（非破壞式）膜厚計兩種。 接觸式膜厚計，是以探針或鑽石刀等等將膜層連同底材截斷後，用不同的方法來觀察切斷面。 可能是用顯微鏡或是內置的斷差量測方法，或是先量測一參考面的高度後，再去量測待測樣品後去做扣減。 而此種方法簡單暴力，且其特色是抽樣檢查後，膜就被破壞變形或是表面沾染異物了，故又被稱為「破壞式膜厚計」。 大致上來說，機台成本都相對於「非接觸式的膜厚計」來得低，且量了多少就是多少也比較沒有疑慮。 但是總體上來說，會適合比較厚的膜（μm級厚度），且精度等等，又都比「非接觸式膜厚計」稍微不足。 適合的產品為： 較厚的膜（μm級厚度）
基本介紹. 中文名 ：膜厚儀. 外文名 ：film thickness gauge. 別名 ：膜厚測試儀. 分類 ：磁感應膜厚儀、電渦流膜厚儀等. 原理 ：電磁感應磁性原理. 磁感應測量原理. 採用磁感應原理時，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。 也可以測定與之對應的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。 覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。 利用磁感應原理的測厚儀，原則上可以有導磁基體上的非導磁覆層厚度。 一般要求基材導磁率在500以上。 如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導磁率之差足夠大（如鋼上鍍鎳）。 當軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時，儀器自動輸出測試電流或測試信號。 早期的產品採用指針式表頭，測量感應電動勢的大小，儀器將該信號放大後來指示覆層厚度。
膜厚量測儀、接觸式輪廓儀可量測樣品表面的形狀，辛耘引進KLA Corporation最專業的膜厚量測儀、接觸式輪廓儀，為各種量測情況所量身打造的最佳解決方案。 D-500/D-600 接觸式輪廓儀/膜厚量測儀. P-7 / P-17 / P-17 OF 接觸式輪廓儀/膜厚量測儀. MicroXam-800 光學式輪廓儀/膜厚量測儀. P-170 全自動接觸式輪廓儀/膜厚量測儀. HRP-260 全自動高解析度輪廓儀/膜厚量測儀. 光學式表面缺陷 (Defect) 檢測儀/CS10 (手動機台)/CS20 (自動機台) (Candela Optical Surface Defect Analyzers)
