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  3. ccc.technews.tw › 2022/09/23 › acerpure-2022-new-products宏碁智新 2022 家電新品增淨水器、吸塵器，計劃 2024 年 IPO - ...

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    • 氮化鋁鎵深紫外光發光二極體元件結構
    • Tem 影像與電子繞射分析鑑定反應生成相
    • STEM/EDS 分析-自我校正定量分析
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    • 參考文獻

    用有機金屬化學氣相沉積（Metal-organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD），製作的氮化鋁鎵深紫外光發光二極體薄膜元件之剖面圖如圖一（a）所示。先在藍寶石（sapphire）基板上長一層氮化鋁（aluminum nitride, AlN）做為緩衝層，減少後續氮化鋁鎵磊晶層的差排缺陷，長上二層不同鋁濃度的氮化鋁鎵磊晶層後，再長上多重量子阱（multiple quantum well, MQW）層、電子阻擋層（electron-blocking layer, EBL）、氮化鎵（gallium nitride, GaN）等奈米磊晶層。 接下來用微影製程將此 MOCVD 製作的元件頂部蝕刻成如圖一（b）所示的平台形狀，然後在氧化氣氛的高溫中熱處理，使氮化鋁鎵...

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    先用聚焦離子束（focus ion beam, FIB）在元件頂部選定的位置切割，製成橫截面型 TEM（cross-section TEM, X-TEM）試片，然後對一系列不同熱處理的氮化鋁鎵試片進行 TEM/STEM 影像分析和電子繞射，目的在鑑定氮化鋁鎵磊晶層側壁和氮化鎵表面形成的氧化物為何物。 圖二顯示二張中低倍率的 TEM 明場像，分別為原始氮化鋁鎵試片與 900ºC，20 分鐘熱處理的氮化鋁鎵試片的橫截面結構。仔細比較圖二 a 與圖二 b，可以發現熱處理後的試片，在氮化鎵層頂部和氮化鋁鎵層側壁共有三個新相（phases）產生，如圖二 b 中標示 1、2、3 的區域。 圖三中比較 900ºC，20 分鐘熱處理的氮化鋁鎵試片的 STEM 明場像和環形暗場像。綜合圖二和圖三中的 TEM ...

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    圖七顯示一組由 STEM/EDS 能譜影像（spectrum image）技術，獲得的氮化鎵和生成物之元素映像圖（elemental maps）。這些元素映像圖顯示生成物的組成元素只有氧和鎵，意指此生成物是鎵氧化物。再用 EDS 軟體從二氧化矽層拉一垂直相界（phase boundary）的直線（圖八（a）中的淺藍色箭頭），通過氧化物到達氮化鎵層，算出沿此直線各元素的濃度變化。 圖八（b）顯示計算出來的結果，此計算結果是由 TEM 的 EDS 軟體用內存的 K 因子（K factors） ，進行成份定量分析。這樣 EDS 定量分析方法稱為無標準試片定量分析法（standardless quantitative analysis），此方法計算的結果目前已廣泛被各種科學與工程類的論文期刊接受。 ...

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    H. Hirayama, T. Yatabe, N. Noguchi, N. Kamata, “Development of 230-270 nm AlGaN-Based Deep-UV LEDs,” Electron. Commun. Jpn., 93 (3), 24–33 (2010). M. Martens, F. Mehnke, C. Kuhn, C. Reich, V. Kueller, A. Knauer, C. Netzel, C. Hartmann, J. Wollweber, J. Rass, T. Wernicke, M. Bickermann, M. Weyers, M. Kneissl, “Performance Characteristics of UV-C AlG...

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    2022年9月23日 · 國泰導入綠電、確立零煤融資！. 通過 SBTi 「科學基礎減碳目標」核定. 由國際多個重要氣候相關組織共同發起的科學基礎減碳目標倡議組織（Science-based targets initiative，SBTi）日前宣布，國泰金控已提交具體排放減量目標，正式通過核定，為全球少數通過 ...

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