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極紫外光微影(英語:extreme ultraviolet lithography,中國大陸稱為極紫外光刻,簡稱「EUV」或「EUVL」)又稱作超紫外線平版印刷術, 是一種使用極紫外光波長的微影技術,目前用於7納米以下的先進製程,於2020年得到廣泛應用 [1] [2] [3] [4] 。
2024年5月29日 · 為何半導體大廠都在搶High-NA EUV機台?要回答這個問題,就得從解析「EUV」開始! 事實上,EUV為「極紫外光」縮寫(Extreme ultraviolet, EUV),它是一道波長小於13.5奈米的光,而使用EUV作為光源的曝光機,就是所謂的EUV曝光機/光刻機。
2022年7月6日 · 世界上只有ASML擁有能製造屬於心臟部位的尖端半導體的設備。只能使用該公司開發的「EUV(極紫外)光刻設備」生産,全球份額達到100%。 同時,能利用這種EUV設備、以較高成品率穩定生産尖端半導體的企業目前在世界上也幾乎只有台積電這1家。
极紫外光刻(英语:extreme ultraviolet lithography,台湾称为极紫外光微影,简称“EUV”或“EUVL”)又稱作超紫外線平版印刷術, 是一种使用極紫外光波長的光刻技術,目前用于7納米以下的先進製程,于2020年得到廣泛應用 [1] [2] [3] [4] 。
2020年4月22日 · 什麼是極紫外光(EUV)微影技術?. 關心台積電為何能連續多年業績創高,此關鍵技術絕對不能忽視,半導體設備巨頭ASML用視覺影像讓你知道EUV怎麼運作的。. #台積電. 採訪中心. 分享. 收藏. 台積電連續10年營收創高,率先全球採用極紫外光(EUV)微影 ...
2021年2月15日 · 2019 年底在舊金山舉辦的年度國際電子元件會議(IEDM)上,台積電公布的兩個報告標誌著積體電路製造邁入了 EUV 微影時代。. 第一個報告宣布了應用 EUV 微影技術的 7 奈米世代的改良版晶片已經於 2019 年正式量產,我們知道這個技術已經用在 2019 年生產的麒麟 990 ...
2020年12月4日 · 採 5 奈米 EUV 製程,迎戰台積電」、「台積電掃貨 EUV 光刻機,三星為什麼落後了?」,EUV這個字眼一直出現在各大半導體新聞,感覺是個很重要的技術,可是心裡又一堆問號這到底在幹嘛,別擔心,今天SemiKnow手把手來帶你認識「EUV」。看!就是那