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2022年9月12日 · 如今成為全球極紫外光光罩傳送盒(EUV Pods)市占率高達八成的廠商,邱銘乾不諱言對EUV市場充滿自信,且當他把這件事做起來,還有機會和供應商成長, 包括提供晶圓載具關鍵材料的耐特、供應半導體自動化設備的迅德、提供微污染防治的濾能,以及供應Foup清洗的科嶠,都是在地供應鏈的重要成員。 (相關報導: 庫存調整半導體檢測傳降價 材料分析比重高廠商吃香 | 更多文章...
2023年3月8日 · 家登是全球極紫外光光罩盒(EUV Pod)的最大供應商,包括擁有全球最多EUV機台的台積電及英特爾(Intel)、三星(Samsung)等都是客戶,「我們全球市佔率逾八成,在台灣更是唯一的供應商,市占近百分之百。 」邱銘乾自豪地向本刊分享家登在半導體的地位。 然而,家登現在看來成績雖亮眼,但一路走來並非順遂。...
2021年2月21日 · 產能方面,光罩盒月產能最高達3500顆,其中EUV光罩盒月產能達1000顆,為迎接EUV設備帶來的商機,在台南樹谷、新北市土城擴廠,樹谷廠產能已到位,土城廠則於近期動工,完工後月產能將達4500顆,EUV光罩盒估達1500顆。 然而,由於EUV光罩盒毛利較高,與非EUV光罩盒營收占比為5比5,加上新增的樹谷廠產能,今年可望衝上6成。...
2021年12月30日 · 家登精密的EUV光罩盒已通過ASML認證,成為全球唯二取得ASML認證的供應商。 圖/ 簡永昌攝影. 在歲末年終之際,家登精密舉辦媒體餐敘,活動中董事長邱銘乾表示,該公司在EUV光罩盒以搶下七成佔率,下一步將力推前開式晶圓傳送盒(FOUP)技術,目前已獲得晶圓代工龍頭的青睞,預計有望2022年第一季量產。 邱銘乾透露,其實FOUP業務在2021年就取得中國晶圓代工和兩岸封測廠的訂單,營收金額已超過4億元,目前在台灣晶圓代工市場尚未出貨,預期在明年量產後將進一步帶來更好的營收表現。 家登通過ASML認證的EUV光罩盒,提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,內層EIP可. 圖/ 家登精密.
極紫外光微影 (英語:extreme ultraviolet lithography,中國大陸稱為 極紫外光刻 ,簡稱「EUV」或「EUVL」)又稱作 超紫外線平版印刷術, 是一種使用 極紫外光 波長的 微影 技術,目前用於7 奈米 以下的先進製程,於2020年得到廣泛應用 [1] [2] [3] [4] 。 DUV微影製程 [ 編輯] 晶圓製造過程裡有一道程序是將設計好的電路圖案 (Pattern)縮小轉印到晶圓上,此道製程便稱之為 微影, 7奈米以前的製程使用248或193奈米波長的光做為光源來進行微影。
2021年2月15日 · 台灣目前更是全球 EUV 最大的裝機基地。 EUV 微影技術歷經 20 餘年的實驗室研發,以及 12 年的量產研發,至今成為半導體先進製程中最重要的生產工具。 ASML 全球副總裁暨技術開發中心主任嚴濤南,正是推動 EUV 應用在量產階段的靈魂人物。 ASML 全球副總裁暨技術開發中心主任嚴濤南博士. EUV 微影技術採用錫的電漿來產生波長為 13.5 奈米的光源,以及用鉬矽多層反射薄膜來把光傳遞到晶片上。 不同於一般的紫外光微影技術,EUV 微影技術得在低真空中運作,技術難度更高。 EUV 微影技術以實驗室形式的研發(日本,美國,歐洲,包括 ASML 和 Cymer)已經走過了二十多年卻仍達不到量產的技術要求,但也沒有被放棄。
2021年1月27日 · EUV光罩盒今年有望業績佔營收6成. 目前家登的主要業務包括光罩傳載、晶圓傳載、機台設備以及其他相關的服務,而EUV的業務在2020年的表現佔整體營收約一半左右,預計今年的表現將能上看6成,主要還是拜全球半導體大廠在先進製程技術上的推進所賜;至於傳輸盒的部分,目前月產能則可上看8,000-10,000顆左右。 就以打進全球唯一能製造EUV機台的艾司摩爾(ASML)的EUV光罩盒來看,根據艾司摩爾的表示,到去年年底已經出貨了100台的EUV(極紫外光)機台,而今年出貨數至少達40台,更是推動全球三大半導體廠的Wafer(晶圓)出片量。 根據艾司摩爾的統計,2020年底已經出貨了100台的EUV(極紫外光)機台,而今年出貨數至少達40台,顯示市場對於先進製程的需求依舊火熱。 圖/ 簡永昌攝影.
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家登的EUV光罩盒有何重要性?
什麼是EUv光罩?
家登精密和英特格在全球提供EUV光罩盒的市佔率為何?
光罩盒要換嗎?