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  1. 2023年4月2日 · 工研院機械與機電系統研究所半導體薄膜設備技術部業務副理董福慶分析,晶圓製造的粉塵捕集,分為兩大部分,一是在機台端安裝現址式洗滌器(Local Scrubber)、二是在廠房內安裝中央式洗滌器(Central Scrubber),前者的處理效率愈好,就能降低後者的負擔。 粉塵終結器屬於現址式洗滌器的一部分,能夠大幅提升機台端的集塵效率。 以極紫外光(EUV)微影系統為例,因應精密節點製程趨勢,為確保精確曝光程序,機台內部必須隨時保持高真空,所抽出的氣體內即含有極小微粒,必須在 EUV 設備的尾端安裝現址式洗滌器加以清除。 又以關鍵製程之薄膜沉積與蝕刻系統而言,為達製程嚴苛規格與保持真空,同樣的會抽出含有微粒的氣體,也必須在設備的尾端安裝現址式洗滌器加以清除。

  2. 2024年5月13日 · 廠務面,選定空調 / 冰水、空壓、集、照明與鍋爐系統,製程面,以電鍍、蝕刻、鑽孔、壓合等設備為主。

  3. 2024年5月5日 · 因此,臺灣若想達成凈零,同時又兼顧供電穩定,供需雙方必須攜手努力。. 打造虛擬電廠驗證平台 彈性調度聰明用電. 隨著再生能源、儲能等新興 ...

  4. 3 天前 · 6 月 5 日資源循環署邀請大家一起來找循環杯門市,6 月 5 日至 6 月 7 日連續 3 天上午 10 點至下午 6 點於「環保點 APP」舉辦快閃活動,以 100 綠點 ...

  5. 2024年5月24日 · 無塵室機電整合大廠聖暉 *(5536-TW) 今 (24) 日召開股東會,會中改選董事,此次獨立董事席次過半,董事會女性席次比例也達 57%,展望後市,董事長梁 ...

  6. 2021年12月26日 · 業界表示,現今半導體業者發包模式多朝向 MEP (機電配管工程)、無塵室 (Clean room) 統包,由於指揮系統單純、責任歸屬明確,可有效減少管理人力 ...

  7. 2021年2月1日 · 國內電弧爐煉鋼業者,以廢鋼為原料冶煉製成鋼胚,在電弧熔煉過程中,產生的廢棄物集塵灰,經過溶解爐處理,可產出氧化鋅及爐碴,冷却後的 ...

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