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5 天前 · 具體來說，現階段High-NA EUV機台將數值孔徑從0.33 增加至0.55，更具高解析度圖像化能力，能夠使精準度提高、成像更加清晰且，每小時可列印超過 185個晶圓，將大大提高先進製成的產能。 ASML最新的High-NA EUV機台為「TWINSCAN NXE:3800E」，可支援幾年內3奈米及2奈米晶片製造。 圖／ ASML.
- 極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵技術是這樣運作的！|數位時代 BusinessNext
台積電連續10年營收創高，率先全球採用極紫外光（EUV）微影 ...
- 極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵技術是這樣運作的！|數位時代 BusinessNext
2021年12月23日 · 2021.12.23. 18:18. 工商時報 數位編輯. 台積電. ASML. EUV機台\ 現在服役的EUV機台高達1.5億美元，但若是下一代的EUV機台價格，更是來到3億美元，讓晶圓代工廠必須忍受更高昂的生產成本來競爭。 圖／美聯社. 目前在晶圓代工領域僅台積電、三星電子以及英特爾擁有先進製程技術，並依靠荷商艾司摩爾（ASML）獨家供應的極紫外光（EUV）曝光設備來生產晶片，先前外媒也指出，英特爾想要追上競爭對手，從ASML手上取得的EUV機台數量將成為關鍵。 不過，現在服役的EUV機台價格就高達1.5億美元，但若是下一代的EUV機台價格，更是來到3億美元（超過80億元新台幣），讓晶圓代工廠必須忍受更高昂的生產成本來競爭。
2022年7月6日 · EUV設備由10萬個零部件構成，重約200噸。 由於是每台高達200億日元的高性能設備，2021年的供貨量僅為42台。 多數面向台積電，但設備相關企業的高管表示「現在各國政府也捲入其中，爭奪戰呈現白熱化的狀態」。
2022年2月3日 · 台積電拚先進製程「EUV機台」數量贏了 專家曝2025挑戰全球最大. 台積電。 （資料照／記者高兆麟攝） 記者吳康瑋／綜合報導....
2024年5月16日 · ASML是全球唯一生產7奈米以上EUV機台的廠商，而且一年只生產40至50台，造成台積電、三星、英特爾、海力士、美光等業者競相搶購。 英特爾之前先進製程發展一度停滯，正在奮力追趕，這回搶頭香拿下ASML最新的High-NA EUV曝光機EXE:5000，未來將導入14A製程，宣示技術領先的意味濃厚。...
其他人也問了
為什麼要用EUV?
EUV極紫外光刻機有什麼缺陷?
euv微影是什麼?
台積電為何開發用於量產的EUV微影技術?
2021年2月15日 · 那款機型是繼 ADT 後的 EUV 研發機台。 ASML 一共做了六台，分別運往了三星、imec、英特爾、東芝、海力士和台積電。 光源是美國 Cymer 公司提供的。 因為是第一次採用雷射電漿（laser-produced plasma，LPP）技術來產生波長為 13.5 奈米的 EUV 光，3100 的光源非常弱，最佳狀態時只能輸出 10 瓦的功率，是現在量產機台（輸出功率 250 瓦）的二十五分之一，而且可靠性低，經常故障。 但我相信它是可以進步的， 因為研發中的下一代光源在 Cymer 的實驗室裡已經演示出高於 10 瓦數倍的功率，雖然只是短暫的瞬間，而不是七天二十四小時持續發光。 而且那時我們第一要關心的不是光源的輸出功率，而是微影機台鏡頭的解析度。
