什么是真空泵? 相關
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真空泵的工作压强要求是什么?
国外的真空泵有哪些优势?
真空幫浦的基本概念： 真空幫浦是一種用於產生真空或抽取氣體的設備，最早於1654年由德國人奧托·馮·居里克發明(德語：Otto von Guericke；就是進行馬德堡半球實驗的物理學家!!)[1]。 其動作原理是將容器或系統內部的氣體抽出，創造一個壓力低於大氣壓的環境；以液體封式真空幫浦為例，泵體以水封原理設計，葉輪停止轉動時液面呈水平面 (如圖A)，當葉輪轉動後液體被離心力拋向外圍形成移動的液環，液環內部中空 (如圖B)，葉輪相對於機體是偏心配置，兩葉片間體積由1轉到5逐漸增大而吸入氣體，吸滿氣體後，兩葉片間氣體隨著葉輪由6轉到11氣體逐漸被壓縮由排氣口排出。 2. 常見的真空幫浦類型與真空單位： 真空幫浦的類型多種多樣，包括機械泵、分子泵、液封泵等。
2024年1月31日 · 真空泵 是制造 真空 的一种 机械 ，由德国人 奥托·冯·居里克 最早于1650年发明 [1] ，它可以把一个密闭的或半密闭的空间中空气排出或者吸收，达到局部空间的相对 真空 。 常见的 真空泵 有 往复式真空泵 、 水环泵 、 分子泵 、 旋片式真空泵 、 活塞式真空泵 、 摇摆活塞式真空泵 、 隔膜式真空泵 、 线性真空泵 等种类非常多。 参考 [ 编辑] ^ Krafft, Fritz. Otto Von Guerickes Neue (Sogenannte) Magdeburger Versuche über den Leeren Raum. Springer-Verlag. 2013: 55. ISBN 978-3-662-00949-9 （德语）. 外部链接 [ 编辑]
真空泵 是製造 真空 的一種 機械 ，由德國人 奧托·馮·居里克 最早於1650年發明 [1] ，它可以把一個密閉的或半密閉的空間中空氣排出或者吸收，達到局部空間的相對 真空 。 常見的 真空泵 有 往復式真空泵 、 水環泵 、 分子泵 、 旋片式真空泵 、 活塞式真空泵 、 搖擺活塞式真空泵 、 隔膜式真空泵 、 線性真空泵 等種類非常多。 參考 [ 編輯] ^ Krafft, Fritz. Otto Von Guerickes Neue (Sogenannte) Magdeburger Versuche über den Leeren Raum. Springer-Verlag. 2013: 55. ISBN 978-3-662-00949-9 （德語）. 外部連結 [ 編輯]
- 概览
- 发展历史
- 结构特点
- 机械选择
- 分类
- 性能参数
- 术语解释
- 应用情况
- 选型
- 维护保养
[zhēn kōng bèng]
对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。
（1）泵总体结构型式
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
（2）泵的传动方式
⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
⑹正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
气体传输泵
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：
变容真空泵
利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：
（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。
（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：
压强范围
真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
真空的定义
真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
真空度
处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
真空度单位
通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。
综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点
结构简单，制造精度要求不高，容易加工。
结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。
压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。
由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：
首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
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真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。
因此使用真空泵时必须注意下列几点：
在蒸馏系统和真空泵之间，必须装有吸收装置。
蒸馏前必须用水泵彻底抽去系统中有机溶剂的蒸气。
如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。
减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。
pressure unit（Pa） 大型干式真空泵. 爱发科的干式真空泵具有从适用于研究、开发、生产用途的硬工艺类型到轻工艺类型，广泛的产品阵容。 您可以根据目的，用途和应用进行选择。 推荐的真空泵根据要降低多少压力以及在真空室中要做什么而有所不同。 真空泵的大小也会根据所要创建的真空空间的大小而变化。 油回转真空泵（大型） 爱发科的油回转真空泵根据不同的用途具有广泛的产品阵容。 可以根据目的，用途和应用进行选择。 油回转真空泵 VD 系列. 油回转真空泵 VS 系列. 油回转真空泵 PVD 系列. 油回转真空泵 PKS 系列. 油回转真空泵 VS 系列. 油旋片式真空泵（小型） 下面200L/min以下的小型油旋片真空泵是由市场占有率No1的ULVAC机工制造。
真空的基本定义. 真空泵用于降低一定体积内的气体 压力 ，进而降低 气体 密度（参见方程式 1.5）。 因此，要考虑需要从腔体中抽除的气体粒子。 (1.5) 真空泵的分类. a) 用于通过一个或多个压缩级，将空气粒子从被抽容器中抽出，然后将其排放到大气中的真空泵（压缩泵）。 通过移位或动量传输的方式抽气。 b) 用于让被抽的气体粒子凝结到某个固体表面，或者以其他方式（例如化学方式）将气体粒子束缚到某个固体表面上的真空泵，该固体表面通常是构成泵本身的边界。 真空泵的类型. 作为能更好地反映新技术和实际应用的分类方法，真空泵可以分为以下五类，其中前三种类别属于压缩泵，其余两种类别属于冷凝和吸气泵： 通过周期性地增加和减少泵室容积进行工作的泵（ 旋转叶片泵 和滑阀泵；以及摆线泵）
真空泵是什么？ 关注者. 2. 被浏览. 32. 1 个回答. 默认排序. 寿尔空压机. 生产各种压力空压机；真空泵；制氮机. 作为一个专业的工具， 真空泵 在工业生产、科研实验以及 环境治理 等领域中被广泛应用。 以下就为大家介绍一些常见的真空泵应用场景。 1.半导体制造 半导体制造是真空泵应用的重要领域之一。 在半导体工业中，真空泵用于制造集成电路、平面显示器以及 光电器件 等。 由于半导体材料需要进行高温处理和多次的膜层沉积，所以在这个过程中需要使用真空泵来维持相应的实验室条件。 只有保持低压环境，在高温条件下反应过程才能顺利进行。 2. 光学镀膜 真空泵也是光学镀膜过程中不可或缺的工具。
