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EUV POD(通過ASML認證) 以子母盒雙層設計，提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可於真空環境下操作。 支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
2020年4月22日 · 什麼是極紫外光（EUV）微影技術？. 關心台積電為何能連續多年業績創高，此關鍵技術絕對不能忽視，半導體設備巨頭ASML用視覺影像讓你知道EUV怎麼運作的。. 台積電連續10年營收創高，率先全球採用極紫外光（EUV）微影技術推動7奈米技術前進是關鍵因素之一 ...
2021年10月4日 · 全球EUV產能在未來三～四年將進入成長爆發期，台積電將坐擁最大EUV產能，EUV概念股直接受惠。由於每增加一層EUV光罩層需求，對應增加約240～260顆極紫外光光罩盒（EUV Pod）採購量，對EUV Pod及晶圓傳送盒需求大躍進，家登接單暢旺且訂單
2019年9月23日 · EUV光罩盒單價貴10倍，推升這檔個股今股價破百元（記者洪友芳攝） 〔記者洪友芳／新竹報導〕家登（3680）挾極紫外光（EUV）傳送光罩盒出貨增加的利多，今年與明年營運受法人看好，今股價續攀高，登上破百元新高價。
2017年1月20日 · 隨著新一代極紫外光（EUV）微影技術日漸成熟，繼英特爾及三星決定在7奈米導入EUV技術後，台積電也計畫在7奈米量產的第二年開始導入EUV技術。業者預估，EUV進入量產時間點將落在2018～2019年之間，2017年將是布建產能及完成技術認證的關鍵年，設備廠家登（3680）EUV光罩盒（EUV
2023年10月8日 · EUV 曝光技術的新救星，三星正打算用石墨烯EUV 光罩護膜來彎道超車台積電. 36Kr 發表於 2023年10月08日 14:30 收藏此文. 延伸閱讀： ASML最強機台報到！. 將於今年交付首款 High-NA EUV 曝光機. 延伸閱讀： ASML下代EUV曝光機年底問世：1nm製程半導體工廠必備，一台售價破4 ...
2019年8月7日 · 【時報-台北電】極紫外光（EUV）已確定是次世代微影技術主流，隨著DRAM廠開始在16奈米及更先進製程、晶圓代工廠及IDM廠在7奈米及更先進邏輯製程等開始導入EUV技術，引爆極紫外光光罩盒（EUV Pod）強勁需求。由於半導體廠接單中只要多1層EUV光罩層需求，就要對應增加約240～260顆EUV Pod採購量，家登 ...
