搜尋結果
英特格表示，日前公司正式發表下一代 EUV 1010 光罩盒，可用於 EUV 微影技術大量生產的半導體製造。 英特格進一步指出，EUV 1010 光罩盒是透過與全球最大晶片生產設備製造商之一的 ASML 密切合作開發，率先成為全世界第一個獲得 ASML 認證，可用於 NXE:3400B 及未來更先進機台的光罩盒產品。
2019年8月7日 · 【時報-台北電】極紫外光（EUV）已確定是次世代微影技術主流，隨著DRAM廠開始在16奈米及更先進製程、晶圓代工廠及IDM廠在7奈米及更先進邏輯製程等開始導入EUV技術，引爆極紫外光光罩盒（EUV Pod）強勁需求。由於半導體廠接單中只要多1層EUV光罩層需求，就要對應增加約240～260顆EUV Pod採購量，家登 ...
2019年7月4日 · EUV 掩模光罩盒是一种高度专业化的设备，在 EUV 光刻中起着至关重要的作用。在使用、存储和运输过程中，它们必须保护掩模，同时确保不引入其他污染物或导致损坏。光罩盒必须与光刻设备兼容，还要能够保持为掩模提供干洁的环境。对于带有 ...
EUV POD(通過ASML認證) 以子母盒雙層設計，提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可於真空環境下操作。 支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
2018年12月11日 · 【時報記者沈培華台北報導】家登精密 (3680) 正式發布，新一代EUV極紫外光光罩傳送盒G/GP Type同時獲得全球最大半導體設備商ASML認證，G/GP Type版本可用於NXE:3400B及未來更先進機台的光罩盒產品，家登加速進入EUV微影技術先進製程，啟動量產。 半導體產業本季進入需求旺季，加上G/GP Type EUV極紫外光光 ...
2023年6月25日 · 2021年：EUV設備放大量，為了光罩盒的潔淨度(提升良率)，需要充氮氣(N2)越來越多，村田做Stocker，家碩做盤面整合，家登做EUV pod 。 2023年：由家登自動化更名為家碩科技。 該公司主要工廠位於台南樹谷園區，近期有拿到南科三期1.86公頃土地，會 ...
極紫外線 (EUV) 光罩是以新式微影系統，透過高能量、短波長的光源，將電路圖案轉印到晶圓。EUV 光源波長比目前深紫外線微影製程的光源波長短少約 15 倍，因此能持續將線寬尺寸縮小。 EUV 光罩與傳統的光罩截然不同，後者是有選擇性地傳輸 193nm 波長的光線，將電路圖案投射到晶圓上。當採用 13 ...
