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2019年7月24日 · 質量流量計，即Mass Flow Meter (MFM)，是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失准，不需要溫度壓力補償。 質量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恆定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。 質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。 簡單來說，質量流量計只測量不控制。 而質量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。 2、 質量流量計，質量流量控制器的流量單位.
質流控制器一般簡稱 MFC（Mass Flow Controller）。 它是一種流量計與控制閥的精密機電組合，與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速，不同於一般量測體積流速的方法，能夠避免環境壓力與氣體體積的影響，因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中，如：電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。 俊尚科技提供您各款質流控制器，產品資料請參考下列內容。 Model Number: EL-FLOW. Power Supply: 15 / 24 Vdc. Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models. Repeatability: <0.2% Rd.
質量流量控制器是一種緊湊型設備，可通過精確控制流速向過程供應一種或多種化合物（氣體或液體）。 為此，要供應的化合物的流速由電壓、電流或數字（現場總線）源以電子方式設置。 流經設備的氣體或液體量由內部傳感器測量。 該測量值與設定點值進行比較。 為了實現兩個值相等，控制閥將改變流道的大小（通過打開或關閉）。 在基礎知識中，質量流量控制器是一個質量流量計（即傳感器），結合了控制閥和傳感器與閥門之間的反饋電子設備。 這種控制功能（也稱為 PID，比例-積分-微分）通常是設備電子設備的標準部分，而控制特性可以通過用戶軟件進行調整，以實現快速或平穩的控制。 2. 為什麼要控制質量流量而不是體積流量？ 僅僅是因為在許多研究和生產過程中，重要的變量是質量而不是體積。 質量流量控制器可以直接控制質量流量。
ALICAT微小氣體質量流量計（MFM）可以用來取代浮子流量計以大幅提高設備精度。 以ALICAT 具備GAS SELECT功能的MFC穩定NZ導入多種反應氣體，並以軟體即時控制記錄，另可選購PCD/PC 壓力控制器控制反應器壓力。
TMFC500質量流量控制器特性|氣體流量控制. 低流量下的高精度. 快速響應 (≦1.0) 提供寬壓力範圍（1300 PSIG） 無洩漏. 無需溫度或壓力. 連接兼容. 高穩定性可拆卸傳感器. 耐腐蝕值. 出色的線性度. 出色的長期穩定性. 模塊化設計. 緊湊型流量控制系統. 產品影片. FGT MEP engineer System Integration |Flow meter manufacturer Company. Watch on. 好處 ： 質量流量控制器應用. 電漿清洗機. 氣體分流閥箱/盤. 氣瓶櫃輸出流量控制. 氣體產生機輸出控制. 火焰焊接控制. TMFM/TMFC系列存在哪些類型的質量流量控制器？ 熱質量流量控制器使用氣體的熱質感測技術來控制它們的質量流量。
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恆定在設定...
大流量氣體流量控制器 (MFC) 規格介紹: •型號：FCS-T1200、FCS-T1500. •控制型式：數位- RS485、乙太網路. •類比- 0~5V、4-20mA. •控制精度：± 1% F.S. •最大操作壓力：700Kpa. •流量範圍：51slpm ~ 500slpm.
