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2023年3月8日 · 家登是全球極紫外光光罩盒（EUV Pod）的最大供應商，包括擁有全球最多EUV機台的台積電及英特爾（Intel）、三星（Samsung）等都是客戶，「我們全球市佔率逾八成，在台灣更是唯一的供應商，市占近百分之百。 」邱銘乾自豪地向本刊分享家登在半導體的地位。 然而，家登現在看來成績雖亮眼，但一路走來並非順遂。...
2022年9月12日 · 根據經發局資料，家登是全台唯一獲選國際18吋半導體設備、國際標準規格制訂廠商；同時也是全球半導體曝光機龍頭廠艾司摩爾（ASML）的EUV光罩盒供應商及曝光機零組件夥伴。 SEMI 最新發布報告指出，今年第二季全球半導體製造設備出貨金額，較第一季成長7％來到264.3億美元，較去年同期成長6％，改寫季度出貨金額新高。...
2021年2月21日 · 記者周康玉／台北報導. 供應全球晶圓大廠光罩盒的家登（3680）近期台南樹谷廠產能建置完成，其廠房和光罩盒無塵室也悄悄曝光，《ETtoday新聞雲》親自走訪這個生產出台積電、英特爾等大廠都必須要用到的關鍵材料廠房。...
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EUV倍縮光罩傳送盒有何重要作用?
EUV機台如何處理包含或不含光罩防塵薄膜的倍縮光罩?
家登精密和英特格在全球提供EUV光罩盒的市佔率為何?
乾式EUV光罩潔淨技術如何提升資源使用效率?
2021年12月30日 · 家登通過ASML認證的EUV光罩盒，提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可. 圖／ 家登精密. 另一方面，邱銘乾指出，接下來3奈米將成為先進製程的主力節點，對於EUV光罩盒的需求只會有增無減，將為家登精密帶來更高的成長動能；舉例來說，家登精密子公司家登自動化就順勢在今年取得5~6億元的成績，預期明年將有30~40%的成長。 說起家登精密是一家非常有趣的公司，過去曾與另一家供應EUV光罩業者英特格進行專利訴訟之戰，當時在英特格的窮追猛打下，曾一度無法存活，所幸在各界幫忙與台積電以抵押廠房、專利等不同形式的資金協助，轉而其死回生。
2020年7月9日 · 張珮琳. 台積公司領先全球導入極紫外光（EUV）微影製程技術，協助客戶快速實現先進產品設計。 為達優質的EUV微影良率並實踐綠色製造使命，台積公司首創環境友善的「乾式EUV光罩潔淨技術」取代傳統的沖洗流程，透過分析落塵、排除汙染源的方式，成功使機台內每一萬片晶圓曝片的落塵數從數百顆減少到個位顆數，落塵率削減99%；導入試產迄今累計節水量約735公噸，降低化學品使用量約36公噸。 分析、追查、根除落塵來源，捍衛產品品質. 依製程的需求，EUV微影製程光罩分為有／無保護膜二種。 台積公司選用無保護膜的EUV光罩以提高透光性，減少EUV微影製程曝光光能損耗；為進一步解決無保護膜EUV光罩的落塵問題，台積公司品質暨可靠性組織攜手技術發展、營運組織，民國107年起，共同開發落塵分析技術。
2024年1月20日 · 工商時報 張瑞益. 家登近六季營收. 台積電（2330）先進製程2、3奈米今年市場需求及出貨看好，先進製程將成台積電營運成長重心，主要供貨台積電EUV Pod（極紫外光光罩盒）的家登（3680）今年營運可望展現爆發力。 法人指出，由於機台開始裝機前，就需要先將EUV POD準備好，再加上2024年先進製程更積極擴張，家登今年營運有望重回成長。 台積電18日舉行法說會時表示，3奈米製程去年下半年開始進入量產階段，受惠手機與HPC需求貢獻，今年3奈米家族營收貢獻將較去年呈現倍數成長，整體營收比重也從去年的約6％攀升至 14-16％，台積電目前有70％營收來自16奈米和更先進的製程技術，隨著3奈米及2奈米製程營收貢獻增加，先進製程比重今年起將持續提升，也更有利於家登等台積電先進製程供應鏈廠商。
2019年12月16日 · 如同所有倍縮光罩一樣，運用在EUV微影技術上的倍縮光罩也須仰賴倍縮光罩傳送盒，以利安全存放，並於微影圖案成形、檢查、清潔與修復期間發揮保護作用。 具備保護功能的傳送盒不僅應長年耐用，還要防止不必要的污染或實體損傷。 專為193奈米浸潤式微影技術所設計的傳送盒，仍不足以保護EUV倍縮光罩。 由於EUV微影技術具有獨特要求，相應的傳送盒也應滿足額外的限制與需求，正因如此，EUV倍縮光罩傳送盒也成為講求高度專業且配備多項重要元件的設備。 【線上研討會】適合智慧家庭低功耗影像感測器. 本文將說明EUV微影傳送盒所面臨的設計挑戰，同時提供解決方案，以協助更多晶圓廠於旗下設施推行先進微影技術節點。 保護EUV倍縮光罩. 微影圖案越精細，倍縮光罩污染的風險也越高。
