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  1. 它常被用來鑑定單層或多層堆疊的薄膜厚度可量測厚度由數 埃 (Angstrom)或數 奈米 到幾 微米 皆有極佳的準確性。 之所以命名為橢圓偏振,是因為一般大部分的偏振多是橢圓的。 此技術已發展近百年,現在已有許多標準化的應用。 然而,橢圓偏振技術對於在其他學科如 生物學 和 醫學 領域引起研究人員的興趣,並帶來新的挑戰。 例如以此測量不穩定的液體表面和顯微成像。 基本原理 [ 編輯] 此技術係在測量光在入射樣品時,其反射光 偏振 性質與入射光偏振性質的改變 [1] 。 通常,橢圓偏振在反射模式下進行。 偏振性質的改變主要是由樣品的性質,如厚度、複 折射率 或 介電函數 ,來決定。

  2. 橢圓偏振技術 (ellipsometry)是一種多功能和強大的光學技術,可用以取得薄膜的 介電 性質(複數 折射率 或 介電常數 )。. 它已被應用在許多不同的領域,從基礎研究到工業應用,如 半導體 物理 研究、 微電子學 和 生物學 。. 橢圓偏振是一個很敏感 ...

  3. 序言. 檢測方法. 應用. 參考資料. 薄膜電阻 (sheet resistance),又被稱為方塊電阻方阻是具有均勻厚度薄膜 電阻 的量度,通常被用作評估半導體摻雜的效果。 使用這種概念的例子有: 半導體 的 摻雜 領域(比如 矽 或者 多晶矽 ),以及被絲網印刷到 薄膜混合微電路 基底上的電阻。 薄膜電阻的概念與 電阻 或者 電阻率 相對,可直接用 四端點測量技術 測量法(也稱為四點探針測量法)或 范德堡法 來測量。 薄膜電阻用 歐姆 每平方( )來計量,可被應用於將薄膜考慮為一個二維實體的二維系統。 它與三維系統下所用的 電阻率 的概念對等。 當使用到薄膜電阻一詞的時候,電流必須沿著薄膜平面流動,而非與其垂直。 對於常規三維導體, 電阻 可寫為.

  4. 薄膜 材料是指厚度介於單原子到幾毫米間的薄金屬或有機物層。 電子半導體 功能器件和 光學鍍膜 是薄膜技術的主要應用。 一個很為人們熟知的表面技術的應用是家用的 鏡子 :為了形成反射表面在鏡子的背面常常鍍上一層金屬,鍍銀操作廣泛應用於鏡子的製作,而低於一個奈米的極薄的鍍層常常用來製作 雙面鏡 。 當光學用薄膜材料(例如減反射膜消反射膜等)由數個不同厚度不同反射率的薄層複合而成時,他們的光學性能可以得到加強。 相似結構的由不同金屬薄層組成的周期性排列的薄膜會形成所謂的 超晶格結果 。 在超晶格結構中,電子的運動被限制在二維空間中而不能在三維空間中運動於是產生了 量子阱效應 。 薄膜技術有很廣泛的應用。 長久以來的研究已經將鐵磁薄膜用於計算機存儲設備,醫藥品,製造薄膜電池,染料敏化太陽能電池等。

  5. 2023年9月18日 · 分析自样品反射之偏振光的改变,椭圆偏振技术可得到膜厚比探测光本身波长更短的薄膜信息,小至一个单原子层,甚至更小。 椭圆仪可测得复数 折射率 或 介电函数 张量,可以此获得基本的物理参数,并且这与各种样品的性质,包括形态、晶体质量、化学成分或 导电性 ,有所关联。

  6. X射線荧光光谱 (X-ray Fluorescence Spectrometer,簡稱: XRF 光谱),是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。 X射线荧光(X-ray fluorescence,XRF)是用高能量X射线或 伽玛射线 撞擊材料时激发出的次级X射线。 这种现象被广泛用于 元素分析 和 化学分析 ,特别是在 金属 , 玻璃 , 陶瓷 和建材的调查和研究, 地球化学 , 法医学 , 考古学 和艺术品 [1] ,例如 油画 [2] 和壁画。 使用型態. XRF 用 X光 或其他激發源照射待分析樣品,樣品中的 元素 之內層電子被擊出後,造成核外電子的躍遷,在被激發的電子返回 基態 的時候,會放射出特徵 X 光;不同的元素會放射出各自的特徵 X 光,具有不同的能量或波長特性。

  7. 蒸鍍英語Deposition是指將金屬和氧化物等蒸發使其於素材的表面附著形成薄膜的方法屬於鍍膜中的一種可大略分為物理蒸鍍PVD與化學蒸鍍CVD兩種。 接下來以PVD的真空蒸鍍來說明。

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