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- EUV 光罩護膜（Pellicle）是光罩上的薄膜，保護光罩免於微塵或揮發性氣體的污染，使 EUV 順利傳輸。 光罩護膜也是 EUV 曝光時的關鍵零件，目的是增加晶片生產良率，減少光罩使用時的清潔和檢驗。
technews.tw/2023/12/04/samsung-electronics-euv-pellicle-achieves-90-transmission-rate/
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什麼是EUV光罩護膜?
乾式EUV光罩潔淨技術如何提升資源使用效率?
euv 會變髒嗎?
2023年10月8日 · 官方頻道. 影音頻道. IG帳號. 三星電子顯然也意識到了 EUV 光罩護膜在提升 EUV 良率的重要性，一直在積極開發和評估由碳奈米管和石墨烯製成的 EUV 光罩護膜，旨在開發滿足 92% EUV 透射率的石墨烯護膜。
2023年12月4日 · EUV 光罩護膜（Pellicle）是光罩上的薄膜，保護光罩免於微塵或揮發性氣體的污染，使 EUV 順利傳輸。 光罩護膜也是 EUV 曝光時的關鍵零件，目的是增加晶片生產良率，減少光罩使用時的清潔和檢驗。 三星今年初聲稱已開發出透光率達 88% 的 EUV 光罩護膜，且這款產品已經可以量產，而 Kang 表示三星 EUV 護膜透光率再度增加，達到 90%。 其中，透光率 90% 的意思是只有 90% 進入薄膜的光線能到達光罩，這可能會影響電路圖案的精度。 這比更常見的氟化氬（ArF）製程中使用的薄膜透光率（99.3%）還低。
2023年12月5日 · EUV 光罩護膜（Pellicle）是光罩上的薄膜，保護光罩免於微塵或揮發性氣體的污染，使 EUV 順利傳輸。光罩護膜也是 EUV 曝光時的關鍵零件，目的是增加晶片生產良率，減少光罩使用時的清潔和檢驗。 三星今年初聲稱已開發出透光率達 88% 的 EUV 光罩護
2020年7月9日 · 台積公司選用無保護膜的EUV光罩以提高透光性，減少EUV微影製程曝光光能損耗；為進一步解決無保護膜EUV光罩的落塵問題，台積公司品質暨可靠性組織攜手技術發展、營運組織，民國107年起，共同開發落塵分析技術。 台積公司以顛覆傳統的創新思維，研發「乾式EUV光罩潔淨技術」，透過乾式技術快速去除落塵，取代需要使用純水與化學品的濕式清潔手法；同時，以次奈米級分析技術精準定位落塵來源，從根本排除汙染源。 經不斷的測試與優化，民國109年成功使落塵削減率超過99%。 台積公司乾式EUV光罩潔淨技術. 乾式潔淨技術提升能資源使用效率，累計創造20億元改善效益.
2023年12月23日 · 這些光罩護膜被設計用來保護光罩在極紫外光（EUV）曝光時免受污染，不僅具備很高的極紫外光（EUV）穿透率（≧94%）和極低的極紫外光（EUV）反射率，對曝光的影響也能控制到最小，這些都是要讓先進半導體製造達到高良率和高產量所需的關鍵性能。 這些奈米碳管（CNT）光罩護膜甚至還能承受超過 1kW 等級的極紫外光（EUV）輸出功率，有助於發展新世代（高於600W）的極紫外光源技術。 於量產導入極紫外光（EUV）微影技術的廠商對這些性能產生濃厚興趣。 因此，此次合作的雙方將攜手開發可供商用的奈米碳管（CNT）光罩護膜技術，以滿足市場需求。 imec 先進圖形化製程與材料研究計畫的資深副總 Steven Scheer 表示，在協助半導體生態系發展新世代微影技術方面，imec 擁有多年經驗。
2023年2月15日 · 光罩護膜是極紫外光 (EUV) 微影曝光時的關鍵零件，在光罩加裝一層護膜，機器在上面繪製要刻上晶圓的電路，以免光罩受空氣微塵或揮發性氣體污染，同時減少光罩損壞率。 主要供應商是荷蘭 ASML、日本三井化學和南韓 S&S Tech。 三星 Foundry Forum 2021 就宣佈要自研 EUV 護膜，2023 年初開發透光率達 88% 的 EUV 護膜。 照三星說法，EUV 護膜應已量產，有助達成供應鏈多元化和穩定。 不過三星要繼續開發，因 88% 透光率護膜並不是品質最好的產品。 韓媒 BusinessKorea 報導，三星半導體研究所近期徵才啟事顯示三星積極開發透光率 92% 的 EUV 護膜。
光罩護膜是極紫外光 (EUV) 微影曝光時的關鍵零件，在光罩加裝一層護膜，機器在上面繪製要刻上晶圓的電路，以免光罩受空氣微塵或揮發性氣體污染，同時減少光罩損壞率。 主要供應商是荷蘭 ASML、日本三井化學和南韓 S&S Tech。 三星 Foundry Forum 2021 就宣佈要自研 EUV 護膜，2023 年初開發透光率達 88% 的 EUV 護膜。 照三星說法，EUV 護膜應已量產，有助達成供應鏈多元化和穩定。 不過三星要繼續開發，因 88% 透光率護膜並不是品質最好的產品。 韓媒 BusinessKorea 報導，三星半導體研究所近期徵才啟事顯示三星積極開發透光率 92% 的 EUV 護膜。
