氣體流量計 mfc 相關
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2019年7月24日 · 質量流量計，即Mass Flow Meter (MFM)，是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失准，不需要溫度壓力補償。 質量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恆定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。 質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。 簡單來說，質量流量計只測量不控制。 而質量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。 2、 質量流量計，質量流量控制器的流量單位.
質流控制器一般簡稱 MFC（Mass Flow Controller）。 它是一種流量計與控制閥的精密機電組合，與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速，不同於一般量測體積流速的方法，能夠避免環境壓力與氣體體積的影響，因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中，如：電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。 俊尚科技提供您各款質流控制器，產品資料請參考下列內容。 Model Number: EL-FLOW. Power Supply: 15 / 24 Vdc. Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models . Repeatability: <0.2% Rd.
1. 質量流量控制器如何工作？ 質量流量控制器是一種緊湊型設備，可通過精確控制流速向過程供應一種或多種化合物（氣體或液體）。 為此，要供應的化合物的流速由電壓、電流或數字（現場總線）源以電子方式設置。 流經設備的氣體或液體量由內部傳感器測量。 該測量值與設定點值進行比較。 為了實現兩個值相等，控制閥將改變流道的大小（通過打開或關閉）。 在基礎知識中，質量流量控制器是一個質量流量計（即傳感器），結合了控制閥和傳感器與閥門之間的反饋電子設備。 這種控制功能（也稱為 PID，比例-積分-微分）通常是設備電子設備的標準部分，而控制特性可以通過用戶軟件進行調整，以實現快速或平穩的控制。 2. 為什麼要控制質量流量而不是體積流量？ 僅僅是因為在許多研究和生產過程中，重要的變量是質量而不是體積。
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代理Proterial 在台灣地區銷售 Aera MFC (氣體控制用質量流量控制器) ，並設有原廠售後服務及維修中心，可在台灣即時維修調校。 (日立金屬 ,Hitachi Metals自2023年1月起更名Proterial) 規 格. 類比式系列Analog Series (FC-R7700/R7800系列) 數位式系列Digital Series (FC-DR980系列, Transformer, HG-200, HC-100) PI Series (PI 980系列) High Temperature MFC. 產品聯絡人. 戴筠勝 Leean Tai. TEL : (03) 564-1224 ext.1108. Mail :
TMFC500 類型：質量流量控制器. TMFC500質量流量控制器特性|氣體流量控制應用:電漿清洗機|氣體分流閥箱/盤|氣瓶櫃輸出流量控制|氣體產生機輸出控制|火焰焊接控制|氣體源頭配管計量. 分類: 工業類, 安裝方式, 應用, 數位, 流量, 牙口, 輸出方式, 電子式, 類型, 類比 ...
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產品描述. MKS Residual Gas Analyzer Mass Flow Controllor (氣體質量流量控制器). 包含標準型MFC, In-situ mass flow verifiers以及flow ratio controllers均能提供高準確性及再現性之氣體流量控制. 此外, 針對熱變化 (Thermo base)及壓力變化 (Pressure base)需求及單通道/多通道 (single /Multiple point)量測及數位/類比 (Digital/Analog)輸出亦有對應機型可供選擇. 相關連結/文件. 產品型錄下載. 原廠應用資料連結.
氣體質量流量控制器（MFC）與氣體質量流量計（MFM），MFC是帶有控制氣體質量流量的裝置，而MFM是不具有控制氣體質量流量功能的裝置。 基本介紹. 中文名 ：氣體質量流量控制器. 外文名 ：MFC. 簡介,常見類型,流量計,簡介,用途,常見問題, 首先區分一下. MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質量流量控制。 流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的，簡稱科氏力。
