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無塵室，又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室，是指一個具有低污染水準的環境，這裡所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。. 更準確地講，一個無塵室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用最大顆粒 ...
無塵室 ，又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室 ，是指一個具有低污染水平的環境，這裏所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。 更準確地講，一個無塵室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用最大顆粒大小來厘定的。 低階別的無塵室通常是沒有經過消毒的（如沒有受控的微生物），更在意的是無塵室中的灰塵。 淨室的定義為：將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔淨的環境。 亦即：這個環境中的微塵粒子相當少，稱之為無塵室。
但隨著元件變得越來越整合，無塵室也變得越來越乾淨。 今天，工廠內是加壓過濾空氣，來去除哪怕那些可能留在晶片上並形成 缺陷 的最小的粒子。 半導體製造產線裡的工人被要求穿著 無塵衣 來保護元件不被人類污染。
風機過濾機組 (英文: Fan Filter Unit，簡稱: FFU)，是一種結合送風機與高效濾網 (HEPA /ULPA)氣流循環與過濾之 無塵室 潔淨設備，主要是用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒，提供潔淨之空氣。. FFU的無塵室大致可分 層流 型 (laminar)與 紊流 型 ...
無塵室，又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室，是指一個具有低污染水平的環境，這裡所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。. 更準確地講，一個淨室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用最大顆粒 ...
淨室的定義為：將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔淨的環境。 亦即：這個環境中的微塵粒子相當少，稱之為無塵室。 净室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業，例如 半導體生產 、 生化技術 、 生物技術 、 精密機械 、 製藥 、和 醫院 内的 手術室 等行業等，其中以 半導體 業其對室內之溫濕度、潔淨度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求範圍內，才不會對製程產生影響。 作為生產設施，净室可以佔據廠房很多位置。 净室系統. [ 编辑] 净室系統，製造符合規格之潔淨空氣，連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端，無塵室內的製造區（FAB）。 一般而言，製造潔淨空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經過净室系統各種處理單元設備之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。
淨室設計（英語： Clean room design ），也稱中國牆技術（ Chinese wall technique ），是一種以逆向工程然後重新創作以複製某項設計，但不會侵犯與原始設計相關的任何著作權方法。
