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無塵室 ，又稱 淨室 、 潔淨室 或 清淨室 ，是指一個具有低污染水準的環境，這裡所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發性氣體。. 更準確地講，一個無塵室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數，或者用最大 ...
高效濾網 （英語： High-Efficiency Particulate Air，即 高效率空氣微粒子過濾網，簡稱 HEPA[1][2]）是一種用於 空氣淨化 的器材。. HEPA高效濾網除了攔截大顆粒懸浮物、黴菌孢子、煙霧等...難聞氣味外，亦可遠離過敏源、細菌；可廣泛用於醫療院所、藥廠、航空業 ...
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什麼是無塵室?
半導體有無塵室嗎?
為什麼半導體廠無塵室室內壓力比室外高?
無塵室空調如何維持潔淨度?
半導體廠無塵室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、溼度、微粒影響無塵室生產區的環境條件外，並可延長無塵室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔淨空氣增加而增加運轉成本。
風機過濾機組(英文: Fan Filter Unit，簡稱: FFU)，是一種結合送風機與高效濾網(HEPA/ULPA)氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備，主要是用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒，提供潔淨之空氣。
半導體廠無塵室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、溼度、微粒影響無塵室生產區的環境條件外，並可延長無塵室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔淨空氣增加而增加運轉成本。
高效濾網 （英語： High-Efficiency Particulate Air，即 高效率空氣微粒子過濾網，簡稱 HEPA[1][2]）是一種用于 空氣净化 的器材。 HEPA高效濾網除了攔截大顆粒懸浮物、黴菌孢子、煙霧等...難聞氣味外，亦可遠離過敏源、細菌；可廣泛用於醫療院所、藥廠、航空業、食品業、研究單位、電子廠、無塵室。 [3] 濾網的標準由美國能源部設定，對粒徑在0.3μm的粒子， 過濾效果約為DOP 99.97%以上。 通常使用的高效濾網可達到99.99%的攔截效率，也有更高或相對低一些的品項，各國有相應的規格標準。
無塵室中一組商用反應離子蝕刻設備. 反應離子蝕刻（英文：Reactive-Ion Etching，或簡寫為RIE）是一種半導體生產加工工藝，它利用由電漿體強化後的反應離子氣體轟擊目標材料，來達到 刻蝕 的目的。 氣體在低 壓 （真空)環境下由 電磁場 產生，電漿體中的高能 離子 轟擊晶片表面並與之反應。 設備. [編輯] RIE系統的典型的設備（平行板式）一般包括一個圓柱形真空室，真空室底部放置用來放晶片盤子。 盤子與室體的其他部分絕緣。 氣體由小口注入真空室上部，由底部排出進入真空泵。 氣體的種類和多少取決於蝕刻的程序。 比如， 六氟化硫 經常用來蝕刻 矽。
