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真空ポンプ (しんくうポンプ、 バキュームポンプ 、vacuum pump)とは、容器内から 気体 を排出し、 真空 を得るための ポンプ である。. 1650年 に ドイツ の オットー・フォン・ゲーリケ により発明された。. 1台で超高真空から大気圧までをカバー ...
真空 (しんくう、 英: vacuum )は、通常の 大気圧 より低い圧力の 気体 で満たされた空間の状態 [1] 。 また 物理学 における概念として、 古典論 における 絶対真空 、 量子論 における 真空状態 を指す場合にも用いられることがある。 真空を物理学の古典論における絶対真空でいう物質が存在しない空間のように思われることがあるが、微視的ではない大きさの空間で物質が存在しない状態の実現は不可能である。 (物理学の古典論における絶対真空を参照) 真空を実証するポンプ. 各分野における真空の語義. 一般利用での真空. 日本産業規格 (JIS)では「通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態」とされている。
真空装置 (しんくうそうち)は、 真空 状態の持つ特性を利用した装置、機器である。 概要. 真空装置はその目的を踏まえて基本仕様である 真空システム を設計しなければならない。 真空システムとは以下の構成要素に成り立っている。 到達圧力. 真空の質. 真空環境の継続時間. 下記の放出ガスや接続部からのリークガスの継続排気. 到達圧力の安定度(上記の不安定要素への真空度低下の対策、真空度上昇(過真空)の防止)で、真空対象の物質の 相転移 しない様に安定維持する。 温度環境. 高温状態 例:核融合炉、活性金属の溶解、人工衛星の太陽光が当たる場合.
イオンポンプ (ion pump) は、 チタン の ゲッター作用 により排気する 真空ポンプ である。 スパッタイオンポンプ (sputter ion pump) とも。 概要. 構造は、 ハニカム 状の アノード (陽極)アレイと、アノードを挟むように配置されたチタン製の カソード (陰極)からなる。 アノード-カソード間に 電圧 をかけると、両極間に 放電 が発生する。 この時、走行中の 電子 は 磁場 の作用によってらせん状の運動をしながら対向する陰極間を往復運動する。 この過程で、電子の一部は 気体 分子 と衝突して イオン を生ずる。 発生したイオンはチタン製の陰極に衝突し、表面からチタン 原子 を叩き出す( スパッタ作用 )。
真空用材料 (しんくうようざいりょう)は、 真空装置 の 真空チャンバー や 真空部品 などを構成する材料である。 通常の 機械用材料 と違う点は、真空中での 放出ガス が少なく、放出ガスの成分がある程度判別されていることである。 また、真空装置でも CVD 装置など 半導体プロセス に使用される場合には、プロセスに使用されるガスに対する耐性なども検討し採用する必要がある。 金属材料. 真空用材料には多様な金属材料が使用されており、使用目的は様々である。 鉄と鋼. 鉄 や 鋼 は強度があり、廉価であるので真空装置に幅広く使用されている。
真空管 (しんくうかん、 米: vacuum tube 、 英: radio valve )とは、内部を高度な 真空 とし、 電極 を封入した中空の管(管球)のことである [1] 。 陰極 から 陽極 に流れる 電子 流を 制御 することによって 増幅 、 検波 、 整流 、 発振 などを行うことができる [2] 。 電子管 [注釈 1] あるいは 熱電子管 [注釈 2] などと呼ばれる [注釈 3] 。 概要. 構造としては、一般的に ガラス や 金属 あるいは セラミックス などで作られた 容器 内部に複数の 電極 を配置し、容器内部を真空もしくは低圧とし、少量の 稀ガス や 水銀 などを入れた構造を持つ。
日本真空工業会 (にほんしんくうこうぎょうかい、 Japan Vacuum Industry Association )は、 真空 産業関連企業の集まる 業界団体 。 略称 JVIA 。 本部所在地. 東京都 港区 西新橋3-23-5 御成門郵船ビル13階. 真空産業. 同会では、真空産業を「真空下の諸現象を利用した装置産業、これを構成するコンポーネント産業および付帯するサービス産業」と定義付けている。 同会の働きかけにより、 日本標準産業分類 の細分類に「2668 真空装置、真空機器製造業」が新設された。 2007年8月20日現在、正会員70社・賛助会員56社・特別会員9団体が登録されている。 資格認定. 日本真空協会 と協同で平成15年より 真空技術者 の資格認定を行なっている。 沿革.