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維基百科，自由的百科全書. 薄膜電阻 (sheet resistance)，又被稱為方塊電阻、方阻，是具有均勻厚度薄膜 電阻 的量度，通常被用作評估半導體摻雜的效果。. 使用這種概念的例子有： 半導體 的 摻雜 領域（比如 矽 或者 多晶矽 ），以及被絲網印刷到 薄膜混合微 ...
橢圓偏振技術 （ellipsometry）是一種多功能和強大的光學技術，可用以取得薄膜的 介電 性質（複數 折射率 或 介電常數 ）。. 它已被應用在許多不同的領域，從基礎研究到工業應用，如 半導體 物理 研究、 微電子學 和 生物學 。. 橢圓偏振是一個很敏感 ...
它常被用來鑑定單層或多層堆疊的薄膜厚度，可量測厚度由數 埃 （Angstrom）或數 奈米 到幾 微米 皆有極佳的準確性。 之所以命名為橢圓偏振，是因為一般大部分的偏振多是橢圓的。 此技術已發展近百年，現在已有許多標準化的應用。 然而，橢圓偏振技術對於在其他學科如 生物學 和 醫學 領域引起研究人員的興趣，並帶來新的挑戰。 例如以此測量不穩定的液體表面和顯微成像。 基本原理 [ 編輯] 此技術係在測量光在入射樣品時，其反射光 偏振 性質與入射光偏振性質的改變 [1] 。 通常，橢圓偏振在反射模式下進行。 偏振性質的改變主要是由樣品的性質，如厚度、複 折射率 或 介電函數 ，來決定。
检测方法. 应用. 参考资料. 薄膜电阻 (sheet resistance)，又被称为方块电阻、方阻，是具有均匀厚度薄膜 电阻 的量度，通常被用作评估半导体掺杂的效果。 使用这种概念的例子有： 半导体 的 掺杂 领域（比如 硅 或者 多晶硅 ），以及被丝网印刷到 薄膜混合微电路 基底上的电阻。 薄膜电阻的概念与 电阻 或者 电阻率 相对，可直接用 四端點測量技術 测量法（也称为四点探针测量法）或 范德堡法 来测量。 薄膜电阻用 欧姆 每平方（ ）来计量，可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。 它与三维系统下所用的 电阻率 的概念对等。 当使用到薄膜电阻一词的时候，电流必须沿着薄膜平面流动，而非与其垂直。 对于常规三维导体， 电阻 可写为.
沉積時的量測膜厚有使用分光學反射與折射率來計算與以水晶震動分子的沉積材料的振動數變化來測量膜厚等方法。 用途. 光學薄膜（眼鏡與鏡片的反射防止膜、特殊鏡子等）、磁帶（錄音、錄影帶等）、構成顯示器的電極・半導體膜・絕緣膜等（ 電漿電視 與有機EL、 液晶顯示器 ）、 手機 、PDA的熒幕表面・裝飾表面用的塗層、電子零件 ( 電容 、半導體集積迴路等）、食品包裝材料（裝餅乾糖果用的袋子有的沉積上一層鋁膜）、以至於新穎材料與建材、各式各樣範圍廣泛接可使用此加工法。 電子顯微鏡的標本在製作時也使用此加工法。 歷史. 1857年Michael Faraday最早提出基本原理，而後、1930年代由於油擴散式真空幫浦實用化、沉積主要用於製作鏡片反射防止膜。
蒸鍍時的量測膜厚有使用分光學反射與折射率來計算與以水晶震動分子的蒸鍍材料的振動數變化來測量膜厚等方法。 真空蒸鍍的用途 [ 編輯] 光學薄膜（眼鏡與鏡片的反射防止膜、特殊鏡子等）、磁帶（錄音、錄影帶等）、構成顯示器的電極・半導體膜・絶縁膜等（ 電漿電視 與有機EL、 液晶顯示器 ）、 手機 、PDA的螢幕表面・裝飾表面用的塗層、電子零件 ( 電容 、半導體集積迴路等）、食品包裝材料（裝餅乾糖果用的袋子有的蒸鍍上一層鋁膜）、以至於新穎材料與建材、各式各樣範圍廣泛接可使用此加工法。 電子顯微鏡的標本在製作時也使用此加工法。 真空蒸鍍的歷史 [ 編輯] 1857年Michael Faraday最早提出基本原理，而後、1930年代由於油擴散式真空幫浦實用化、蒸鍍主要用於製作鏡片反射防止膜。
蒸鍍時的量測膜厚有使用分光學反射與折射率來計算與以水晶震動分子的蒸鍍材料的振動數變化來測量膜厚等方法。 真空蒸鍍的用途 [ 编辑] 光學薄膜（眼鏡與鏡片的反射防止膜、特殊鏡子等）、磁帶（錄音、錄影帶等）、構成顯示器的電極・半導體膜・絶縁膜等（ 電漿電視 與有機EL、 液晶顯示器 ）、 手機 、PDA的螢幕表面・裝飾表面用的塗層、電子零件 ( 電容 、半導體集積回路等）、食品包装材料（裝餅乾糖果用的袋子有的蒸鍍上一層鋁膜）、以至於新穎材料與建材、各式各樣範圍廣泛接可使用此加工法。 電子顯微鏡的標本在製作時也使用此加工法。 真空蒸鍍的歷史 [ 编辑] 1857年Michael Faraday最早提出基本原理，而後、1930年代由於油擴散式真空幫浦實用化、蒸鍍主要用於製作鏡片反射防止膜。
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