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BROOKS MFC (Mass Flow Controller) 質流量控制器提供了精密的流量控制.所以在各種需要精密流量控制的產業均可見其應用.目前 BROOKS MFCs 應用範圍遍及 半導體 / 光電 / 太陽能 等領域.BROOKS 同時也是MFC 的世界領導品牌. 鑑於對精密控制愈見要求的 300mm 產品,BROOKS MFCs 也在規格上不斷的提昇.現行提供最新的 GF125 於高階的製程上,GF125 除了RoHS 驗證通過外,同時在精度,反應時間等規格上提供了最好的選擇.BROOKS/旭福 希望能在最新更好的技術領域上,持續提供服務.
Brooks(USA) - 氣體質量流量計：顯示氣體流量 - 氣體質量流量控制器：顯示氣體流量、控制氣體流量、控制流量開關 特點： 數位和類比訊號輸出 互補金屬氧化半導體元件 不受溫度及壓力變化影響 最小壓力損失 高精準度和高解析度 外型設計美觀 規格：
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質量流量控制器. Flow range: 30sccm~30slm. Fitting:1/4" swaglock. Connector:D-Type. Brooks (USA) - 氣體質量流量計：顯示氣體流量. - 氣體質量流量控制器：顯示氣體流量、控制氣體流量、控制流量開關. 特點： 數位和類比訊號輸出. 互補金屬氧化半導體元件. 不受溫度及壓力變化影響. 最小壓力損失. 高精準度和高解析度. 外型設計美觀. 規格： 氣體種類 : Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10..etc. (or request) 本體材質 : Aluminum, Stainless Steel.
气体. 流量范围-满量程容量. 3 sccm - 2500 lpm. 精度. ± 0.6% of SP. 最大压力. 4500 psig. 温度. 65 o C. 输出类型. Analog & Digital. 金属密封热. 适用于对湿度或氧气敏感的过程. 高纯度流路可最大限度降低过程污染，提高产率. 超快速响应能力.
