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2022年9月12日 · 如今成為全球極紫外光光罩傳送盒(EUV Pods)市占率高達八成的廠商,邱銘乾不諱言對EUV市場充滿自信,且當他把這件事做起來,還有機會和供應商成長, 包括提供晶圓載具關鍵材料的耐特、供應半導體自動化設備的迅德、提供微污染防治的濾能,以及供應Foup清洗的科嶠,都是在地供應鏈的重要成員。 (相關報導: 庫存調整半導體檢測傳降價 材料分析比重高廠商吃香 | 更多文章 )...
2021年2月21日 · 在台積電、三星、英特爾在角逐先進製程過程中,因極紫外光微影(EUV)技術能打破前一代微影技術的尺寸限制,此技術因而嶄露頭角,也讓光罩傳載盒(EUV Pod)成為當紅炸子雞,本土的家登和美商英特格(Entegris)是兩大主力供應商。. 其中,家登的光 ...
產品介紹. 光罩儲存Stocker (RSP 150/ EUV POD/ RSP 200/ 光罩盒) 提供RSP150、EUV POD、RSP 200等載具之自動化存取與儲存空間,並支援連續充氣功能 (XCDA、N2充氣),並將載具的位置、內容物、充氣資訊回傳至中央管理系統。 可滿足可用佔地空間,設計不同櫃位數目之客製需求。 支援RSP150/RSP200/EUV POD充氣儲存用. MFC控制充氣流量. 盤面充氣管路加裝Gas Filter,確保進氣潔淨度. 即時監控管路氣體壓力狀況及每儲位充氣狀態. 可搭配AMHS自動化系統Load/unload. SECS功能. 光罩儲存櫃體 (RSP 150/ EUV POD/ RSP 200/ 光罩盒)
英特格 極紫外光(EUV)光罩傳送盒. 英特格 (Entegris)的雙吊艙設計提供了內部和外部吊艙,可維持無污染的環境,應用於極紫外光 (EUV)微影技術的晶片大量生產,以保護製造過程中光罩的完整。. 1008 Series EUV Pods. Extreme ultraviolet light (EUV) reticle pod is designed to provide ...
2021年1月27日 · 由於EUV光罩屬高單價產品,且無法貼上傳統的保護膜(Pellicle)來防止微粒的污染,因此一定要透過特殊設計的光罩盒保護。EUVL光罩載具包含內盒和外盒,內盒可以代替光罩保護膜,防止微粒污染。
2021年2月15日 · EUV 微影技術使摩爾定律得以延續。 ASML 上週財報中指出該公司於 2020 年底慶祝第 100 台 EUV 極紫外光微影系統出貨。 台灣目前更是全球 EUV 最大的裝機基地。 EUV 微影技術歷經 20 餘年的實驗室研發,以及 12 年的量產研發,至今成為半導體先進製程中最重要的生產工具。 ASML 全球副總裁暨技術開發中心主任嚴濤南,正是推動 EUV 應用在量產階段的靈魂人物。 ASML 全球副總裁暨技術開發中心主任嚴濤南博士. EUV 微影技術採用錫的電漿來產生波長為 13.5 奈米的光源,以及用鉬矽多層反射薄膜來把光傳遞到晶片上。 不同於一般的紫外光微影技術,EUV 微影技術得在低真空中運作,技術難度更高。
EUV光罩與傳統光罩也截然不同,具複合多塗層反射鏡(分散式布拉格反射器)的光罩可將電路圖案反射到晶圓上。 這種多層膜光罩雖然可維持光罩的反射率,但另一方面會影響臨界線寬、輪廓、刻線邊緣粗糙度。
其他人也問了
家登的EUV光罩盒有何重要性?
什麼是EUv光罩?
光罩盒要換嗎?