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2022年2月21日 · 全球極紫外光 (EUV) 光罩盒產品大廠 英特格 (Entegris) 也在去年 宣布投資台灣 140 億台幣，建立 具備最先進技術之廠區。 在全球力拼半導體自主的當下，台灣亦積極展開相關佈局。雖然台灣在晶片製造領先全球，但過程所需的設備與材料 均掌握在國外廠商手中
- 台積電將逐年提高在地採購比例
- 供應商升級擴產，採用先進製程標準
- 台積電供應鏈表現優異，業績可望歷年新高
- 整體供應鏈提升，吸引更多外國供應商來台
台積電表示，供應鏈在地化不只能提升供貨彈性、縮短新產品開發時間、減少不必要成本，也可降低整體供應鏈碳排放，確保客戶服務品質與效能。 為推動在地供應鏈升級，台積電訂定在地採購目標，間接原物料台灣在地採購比例今年將達 60%，119 年將提升至 64%；後段設備今年比例將約 36%，119 年計劃提高至 40%；零配件今年比例將約 50%，119年預計達60%。
台積電還積極提升關鍵設備、零配件及原物料供應商技術與品質，進而提高在地採購量，去年輔導 4 家零件廠開發高階先進製程零件，6 家化學品、光阻液及氣體廠擴充產線，14 家化學品、光阻液及氣體廠提升量測技術。 台積電指出，特殊氣體原料矽乙烷因純度、精密度要求嚴謹，生產技術門檻高，過去多由國外供應商提供，內部自 106 年起組成跨部門專案小組，輔導台特化，目前台特化生產的矽乙烷已通過先進製程使用標準。 台特化 108 年獲頒台積電傑出供應商獎，據台特化董事長徐秀蘭透露，公司營運已順利好轉，自今年 4 月起已連續 2 個月獲利。
無塵室廠漢唐去年受惠台積電積極擴產，營運繳出亮麗成績單，營收新台幣 239.2億元，歸屬母公司淨利 28.15 億元，營收與獲利同創歷史新高，每股純益 14.77 元。今年前 5 月營收 123.77 億元，年增 2 成，法人看好，漢唐今年業績可望續創歷史新高。 漢唐轉投資的::傑智::環境同處台積電供應鏈，去年營運也有不錯表現，營收 9.84 億元，年增 85%，稅後淨利倍增至 4516 萬元，每股純益 2.2 元；今年來營運延續成長趨勢，前 5 月營收 3.34 億元，年增 19%。 台積電位於台中科學園區的晶圓 15A 廠，還與光洋科共同推動硫酸銅廢液與殘靶材 2 項製程廢棄物資源活化專案，開發利用再生資源為靶材原料的再製技術，已於 107 年及 109 年導入台積電成熟與先進製程。 ...
台積電不僅帶動台灣合作夥伴營運成長，還邀請國際大廠來台設廠製造，帶動整體供應鏈提升，全球第 2 大半導體真空幫浦供應商日本荏原（EBARA）便應邀來台設廠生產製造。 荏原不僅有效降低整體製造成本，提升產能與出貨效率，108 年配合台積電全面擴充高階製程產能，在台產能超過 80%，還可回售產品至日本母公司供應全球客戶。 （本文經 中央社 授權轉載，並同意 TechOrange 編寫導讀與修訂標題，原文標題為 〈台積電推動在地供應鏈升級 台灣夥伴受惠〉。首圖來源：Wiki）
2021年4月19日 · 針對 3 奈米技術開發，極紫外光（EUV）微影技術展現極佳的光學能力，與符合預期的晶片良率。 台積電：今年 2 奈米將著重改善 EUV 技術品質 台積電研發單位正致力於極紫外光技術，以減少曝光機光罩缺陷及製程堆疊誤差，並降低整體成本。
2022年6月17日 · 路透社報導，米玉傑在矽谷的台積電技術論壇上說，台積電將在 2024 年引進高數值孔徑極紫外光（high-NA EUV）光刻機，來因應客戶推動創新的需求。 英特爾目標：要在 2025 年以高數值孔徑 EUV「進行生產」 米玉傑並未說明這項設備何時將用於量產。
2023年12月25日 · 這款最先進 EUV 曝光機每台價格超過 3 億美元，將幫助英特爾製造更小、更快的半導體。 ASML 在社群媒體 X 平台上張貼的圖片顯示，機器的某一部分裝在一個系上紅色絲帶的保護箱裡，正從荷蘭 Veldhoven 總部出發。
2021年5月31日 · 晶片製造中，一台 EUV 光刻機的單日耗電量就可以達到驚人的 3 萬度，而一條生產線中，除了先進製程需要用到的 EUV 光刻機，大概還需要上百台成熟製程的 DUV 光刻機，DUV 的耗電量雖然沒有 EUV 那麼誇張，但也不是小數字。
2022年6月6日 · 假設美國阻止中國取得 EUV 光刻設備，三星電子就必須積極考慮在美國擴充晶圓代工產能。 三星電子也可能分割晶圓代工事業成為獨立子公司，讓晶圓代工子公司在美國那斯達克證券交易所上市，利用首次公開募股取得投資設廠的資金。
