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2022年9月12日 · 如今成為全球極紫外光光罩傳送盒(EUV Pods)市占率高達八成的廠商,邱銘乾不諱言對EUV市場充滿自信,且當他把這件事做起來,還有機會和供應商成長, 包括提供晶圓載具關鍵材料的耐特、供應半導體自動化設備的迅德、提供微污染防治的濾能,以及供應Foup清洗的科嶠,都是在地供應鏈的重要成員。 (相關報導: 庫存調整半導體檢測傳降價...
2023年3月8日 · 2021年某一天,台積電光罩盒主要供應商家登精密董事長邱銘乾接到一通來自上游供應商電話,一場材料斷鏈危機迎面襲來。 「過去我用的複合材料都是美商、日商製造,他(英特格)仗著自己是這些材料商最大客戶,竟要求業者不准賣原料給我(家登)。 」回憶起這段往事,邱銘乾至今仍怒意未消。 家登是全球極紫外光光罩盒(EUV...
2021年2月21日 · 產能方面,光罩盒月產能最高達3500顆,其中EUV光罩盒月產能達1000顆,為迎接EUV設備帶來的商機,在台南樹谷、新北市土城擴廠,樹谷廠產能已到位,土城廠則於近期動工,完工後月產能將達4500顆,EUV光罩盒估達1500顆。 然而,由於EUV光罩盒毛利較高,與非EUV光罩盒營收占比為5比5,加上新增的樹谷廠產能,今年可望衝上6成。...
2021年1月27日 · 簡永昌. 作為護國神山台積電先進製程供應鏈的重要一環,家登主要產品有光罩傳載類、晶圓傳載類、機台設備類,並以EUV光罩盒的技術,成為了半導體國家隊的一員。 目前扎根台南科技園區,樹谷廠也已擴廠完畢,將能提供比2020年更多產能,同時為滿足客戶需求,也斥資4.8億元新台幣於土城購地,預計將於農曆年後動工。 董事長邱銘乾表示,目前家登除了先進製程的EUV載具產能可滿足全球先進製程客戶的需求外,DUV供貨亦沒有問題;加上成功切入中國市場八吋及十二吋市場,且鑒於目前中國八吋廠光罩及晶圓載具(Wafer Pod/Cassette)需求強勁,中國半導體客戶訂單能見度可以到今年第二季。 整體而言2021年度EUV、DUV、晶圓載具三箭齊發,第一季訂單能見度佳,「我們樂觀看到今年的整體營運,」邱銘乾說。
2021年12月30日 · 極紫外光(EUV)微影是推動先進製程的靈魂技術,為了不落人後,包含台積電、英特爾、三星、SK海力士等業者皆已部署相關產線,而能夠供應EUV設備的業者非艾司摩爾(ASML)莫屬,同時,全球唯二經過ASML認證的EUV光罩盒的供應商,其中一家就是總部坐落在土城的家登精密。 家登精密的EUV光罩盒已通過ASML認證,成為全球唯二取得ASML認證的供應商。 圖/ 簡永昌攝影. 在歲末年終之際,家登精密舉辦媒體餐敘,活動中董事長邱銘乾表示,該公司在EUV光罩盒以搶下七成佔率,下一步將力推前開式晶圓傳送盒(FOUP)技術,目前已獲得晶圓代工龍頭的青睞,預計有望2022年第一季量產。
2023年10月8日 · 官方頻道. 影音頻道. IG帳號. 三星電子顯然也意識到了 EUV 光罩護膜在提升 EUV 良率的重要性,一直在積極開發和評估由碳奈米管和石墨烯製成的 EUV 光罩護膜,旨在開發滿足 92% EUV 透射率的石墨烯護膜。
2020年7月9日 · 2020/07/09. 朱遠志. 胡凱強. 張珮琳. 台積公司領先全球導入極紫外光(EUV)微影製程技術,協助客戶快速實現先進產品設計。 為達優質的EUV微影良率並實踐綠色製造使命,台積公司首創環境友善的「乾式EUV光罩潔淨技術」取代傳統的沖洗流程,透過分析落塵、排除汙染源的方式,成功使機台內每一萬片晶圓曝片的落塵數從數百顆減少到個位顆數,落塵率削減99%;導入試產迄今累計節水量約735公噸,降低化學品使用量約36公噸。 分析、追查、根除落塵來源,捍衛產品品質. 依製程的需求,EUV微影製程光罩分為有/無保護膜二種。
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家登的EUV光罩盒有何重要性?
什麼是EUV光罩護膜?
光罩盒要換嗎?
乾式EUV光罩潔淨技術如何提升資源使用效率?