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2023年12月25日 · 鉅亨網. 2023-12-25. 分享本文. 荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾（ASML-US）上周四（21 日）表示，第一套高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）微影設備，已交貨給英特爾（INTC-US）。 這款最先進 EUV 曝光機每台價格超過 3 億美元，將幫助英特爾製造更小、更快的半導體 。 ASML 在社群媒體 X 平台上張貼的圖片顯示，機器的某一部分裝在一個系上紅色絲帶的保護箱裡，正從荷蘭 Veldhoven 總部出發。
2021年3月25日 · 「台積電 EUV 機台，3 個科學園區都有，目前大本營在南科。 」微驅科技總經理吳金榮分析，這也是為什麼艾司摩爾會在南科設立 EUV 技術培訓中心，「台積電要用這麼多 EUV，艾司摩爾要支援它的客戶，一定得有很多工程師，才會在台灣徵才這麼多。 不只現在，既然看好未來，那就必須超前部署。 艾司摩爾早已著手研發新一代 EUV 設備 High-NA，以滿足 3 奈米以下先進製程需求。 「我們預計 2023 年開始交貨，但客戶真正大量應用應該落在 2025 至 2026 年左右。 」陳文光分析，當 EUV 已不能滿足客戶對解析度、晶片單位成本的要求時，就會導入新設備來降低製程複雜度。 當然，研發人才也相當重要。
- 台積電 5 奈米、4 奈米製程領先，2 奈米生產基地落腳新竹
- 台積電產能再提升，「先進封裝」技術成未來發展重點
- 「先進製程」發展重心深耕台灣
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台積電 7 奈米自 2018 年量產，至今已出貨 10 億顆；5 奈米今年第 2 季量產，在訂單需求下，預計 2022 年產能將較今年大增超過 3 倍；此外，今天宣布 5 奈米強效版預計 2021 年量產、4 奈米將於 2022 年量產，分別較原訂 2022 年及 2023 年量產進度提前。 台積電位於南科的 3 奈米廠目前正在興建中，將於 2022 年下半年量產，符合原預定進度。而因應未來研發需求，台積電在新竹廠區興建研發中心，預計 2021 年完工，將可容納 8000 人，是 2 奈米及更先進技術的研發基地，台積電並規劃 2 奈米生產基地落腳新竹，土地正取得中，這也是台積電首度提及 2 奈米的未來進度，顯示台積電衝刺先進製程的腳步持續進行。
台積電同時也持續擴充特殊製程產能，今年產能將增加 10%，占總產能比重達 54%；此外，台積電還整合 SoIC、InFO、CoWoS 等 3D IC 平台為 3D Fabric，以利更有效率實現系統整合。 法人表示，台積電 5 奈米強效版與 4 奈米製程量產時程，較原訂的 2022 年及 2023 年提前，3 奈米量產時程則符合進度，維持 2 年推進一個世代製程技術，台積電製程技術領先地位穩固。 法人預期，5 奈米製程產能擴充與 3 奈米製程研發將是台積電近年投資重點。此外，隨著邏輯整合記憶體相關的異質整合需求日益提高，先進封裝也是台積電未來的發展重心。
台積電規劃美國亞利桑那州廠 2024 年量產 5 奈米製程，屆時台灣廠區已量產 3 奈米，可見台灣是台積電先進製程發展重心。法人認為，台灣半導體產業供應鏈完整，台積電包括人力與研發資源集中在台灣，都是台積電深耕台灣的主因。 法人進一步表示，台積電先進製程中的極紫外光（EUV）機台相當耗電，充足且穩定供電是台積電營運的必要條件，也是未來半導體先進製程發展的關鍵要素。 （本文經合作夥伴 中央社 授權轉載，並同意 TechOrange 編寫導讀與修訂標題，原文標題為〈台積電衝刺先進製程 5 奈米強效版量產進度提前〉。）
2022年6月17日 · 路透社報導，米玉傑在矽谷的台積電技術論壇上說，台積電將在 2024 年引進高數值孔徑極紫外光（high-NA EUV）光刻機，來因應客戶推動創新的需求。 英特爾目標：要在 2025 年以高數值孔徑 EUV「進行生產」
2020年12月22日 · 艾司摩爾也是台積電認證的優良供應商，除了生產 EUV 機台支援台積電 5 奈米量產，旗下也擁有對 8 吋晶圓廠量產相當關鍵的設備深紫外光微影系統（DUV）。 根據《 經濟日報 》報導，隨著艾司摩爾在台擴編，增加逾一成人力達到 3,300 人以上，未來台積電等台廠預計都能獲得最快、最出色的工程人員支援，搶佔先機。 另據《 Business Korea 》報導，三星正計畫加強與艾司摩爾的技術合作，討論有關 EUV 設備供應和開發的相關合作以及建立技術聯盟，確保擴大下一代 EUV 微影設備「High-NA EUV」的供應，並希望能搶在台積電之前。
2021年4月22日 · ASML 在第一季出貨 9 台極紫外光 (EUV) 機台，但僅先確認 7 台的營收，總計 11 億歐元。 公司預計，今年 EUV 機器的總銷量將比 2020 年增長 30%。 TO 編按：ASML 是目前全球光刻機系統的主要供應商，該大型機器能協助繪製細小的運算晶片電路圖，每台機器成本 ...
2021年4月19日 · 2021-04-19. 分享本文. 台積電揭露2奈米最新進度 進入技術研發階段。 首圖來源： Piqsels. （本文經合作夥伴 鉅亨網 授權轉載，並同意 TechOrange 編寫導讀與修訂標題，原文標題為 〈 台積電揭露 2 奈米最新進度 已進入技術研發階段 〉。 【為什麼我們要挑選這篇文章】被譽為「護國神山」的台積電，年報更是吸引法人及投資人高度關注，畢竟台積電未來的表現，將是牽動台股表現的重要關鍵。 目前最先進的半導體製程為 5 奈米，而台積電揭露最新 2 奈米製程進度，也代表著其半導體工藝又更上一層樓，就連日企也曾向台積電取經建立合作體系。 （責任編輯：陳宜伶）
