無塵室規範 相關
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2024年3月12日 · 其實無塵室並不是真的「一塵不染」毫無塵埃,事實上在現實中也不可能做到這樣,無塵室的英文為 clean room,意即潔淨室,代表在一定的空間中,微塵粒子 (Particle) 的數量低於某個級數,而級數越低,代表此空間中的微塵粒子越少。 下方影片是 ASML 艾司摩爾 (全球最大晶片微影設備製造商)的無塵室參訪,有興趣的朋友可以看看喔! A visit to ASML's cleanroom for EUV | ASML. Watch on. 無塵室等級怎麼定義. FED-STD-209E (FEDERAL STANDARD 209E)
無塵室須具備能夠有效控制特定空間內微粒汙染數量之能力,其主要構成條件如下: 能除去空氣中微塵粒子. 能防止微塵粒子之產生. 溫度和溼度之控制. 室內壓力之調節. 有害氣體之排除. 結構物與隔間之氣密性. 靜電之防制. 電磁干擾之預防. 安全因素之考量. 節能之考量. 何謂潔淨度. 為了對各種無塵室的性能加以定義,因此以「特定容積」內定義「特定大小」的微粒數量作為基準,這個指標就稱為「潔淨度」 (Cleanliness)。 茲以直徑0.5μm (微米)以上的粒子為例: 無塵室產業區分. 無塵室之應用主要分為ICR工業用無塵室 (Industrial Clean Room)和BCR生化及醫學用無塵室 (Biological Clean Room)兩大類,依不同依產業類別,對於潔淨度也有不同要求。
潔淨室標準(ISO 14644-1:2015) ISO14644-1 於 1999 年發表,在 2015 年 12 月進行了 16 年來的第一次修正。 目前, ISO 14644-1:2015 已成為世界上唯一評估潔淨室等級的國際標準。 主要修正內容. 低濃度微粒子數上限濃度的廢除. ISO 14644-1:2015 潔淨度等級之上限濃度(個/m3) 潔淨室之認證測試的 95%UCL 廢除,每平方公尺的測量點數量更改(平方根的規則廢除) 修正前潔淨室的測量點最小數目為「測量點數=√待測面積」所決定、 改訂後為「Table A.1」指定的測量點的數量。 指定測量次數刪除. 修正前,若只有一個測量點位,則該點必須測量至少三次,修正後不再要求測量次數。
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無塵室是什麼?
2018年3月2日 · 『無塵室』又稱為「潔淨室」,是將一定空間範圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除於外,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求範圍內,而給予特別設計之房間。 也就是說這個受控的房間內之微塵粒子相當稀少。 無塵室環境在現代工業中被廣泛應用於半導體晶圓生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、製藥、醫院等行業中,尤其以半導體晶圓製程時的要求等級最高,因為現今的晶圓已經都是奈米級的水準,隨便一個灰塵掉在晶圓上都可能毀這片晶圓。 無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負壓無塵室。 一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內的空氣壓力大於室外的壓力,這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源。
無塵室起源於1960年代美國聯邦標準Fed-Std-209E,之後日漸普及並廣為半導體業與製藥業所接受。 90年代後期因應全球化趨勢,ISO-14644應運而生。 隨著工業的日益發展,在歐洲與日本也有各自規範,但目前國際仍以「ISO-14644-1 」及美國「Fed-Std-209E」為主流,茲列舉 ...
無塵室門禁規則. 凡需使用無塵室內設備者,均有資格申請進入無塵室,欲申請者請至QMSF網站申請,並取得所屬老師同意,需依規定繳納無塵室基本費。 門禁卡權限之控管,由劉芳綺負責 (E-mail:lycopene@gate.sinica.edu.tw )。 沒有權限可進入無塵室的人員,一律不准進入無塵室。 若有必要,一定得進入無塵室者,請預先聯絡劉芳綺,告知勢必得進入無塵室的原因。 為維持場地潔淨度,除了教授級訪問學者,或有特殊原因者,其餘一律謝絕參觀。 進入無塵室人員需知悉並遵守無塵室之規定事項。 嚴禁轉借他人之門禁卡或夾帶未經核准人員進入無塵室。 進入無塵室前之注意事項. 必須先將外鞋脫下再進入換衣區換穿無塵衣、無塵鞋。 任何人進入無塵室,須依規定於換衣區換穿無塵衣、無塵鞋。
2023年12月11日 · 無塵室是什麼?. 無塵室(Cleanroom)指將空間內的微生物、微小顆粒、化學揮發性氣體等污染物排除,並控制溫度、濕度、室內壓力、氣流速度等變數,以確保特定工業或科學活動的作業環境能夠精準地達到品質控制。. 其主要功能包含了:除去及防止空氣中微塵 ...