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2019年7月24日 · 質量流量計，即Mass Flow Meter (MFM)，是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失准，不需要溫度壓力補償。 質量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恆定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。 質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。 簡單來說，質量流量計只測量不控制。 而質量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。 2、 質量流量計，質量流量控制器的流量單位.
質流控制器一般簡稱 MFC（Mass Flow Controller）。 它是一種流量計與控制閥的精密機電組合，與一般流量計最大的差別在於它是利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體的質量流速，不同於一般量測體積流速的方法，能夠避免環境壓力與氣體體積的影響，因此非常適合用在需要動態地控制氣體流量的精密應用中，如：電漿清潔、電漿蝕刻、PECVD、濺鍍等。 俊尚科技提供您各款質流控制器，產品資料請參考下列內容。 Model Number: EL-FLOW. Power Supply: 15 / 24 Vdc. Accuracy: ±0.5% ~ +/-2%, depending on models . Repeatability: <0.2% Rd.
質量流量控制器是一種緊湊型設備，可通過精確控制流速向過程供應一種或多種化合物（氣體或液體）。 為此，要供應的化合物的流速由電壓、電流或數字（現場總線）源以電子方式設置。 流經設備的氣體或液體量由內部傳感器測量。 該測量值與設定點值進行比較。 為了實現兩個值相等，控制閥將改變流道的大小（通過打開或關閉）。 在基礎知識中，質量流量控制器是一個質量流量計（即傳感器），結合了控制閥和傳感器與閥門之間的反饋電子設備。 這種控制功能（也稱為 PID，比例-積分-微分）通常是設備電子設備的標準部分，而控制特性可以通過用戶軟件進行調整，以實現快速或平穩的控制。 2. 為什麼要控制質量流量而不是體積流量？ 僅僅是因為在許多研究和生產過程中，重要的變量是質量而不是體積。 質量流量控制器可以直接控制質量流量。
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什麼是質量流量控制器?
TMFC500質量流量控制器特性|氣體流量控制. 低流量下的高精度. 快速響應 (≦1.0) 提供寬壓力範圍（1300 PSIG） 無洩漏. 無需溫度或壓力. 連接兼容. 高穩定性可拆卸傳感器. 耐腐蝕值. 出色的線性度. 出色的長期穩定性. 模塊化設計. 緊湊型流量控制系統. 產品影片. FGT MEP engineer System Integration |Flow meter manufacturer Company. Watch on. 好處 ： 質量流量控制器應用. 電漿清洗機. 氣體分流閥箱/盤. 氣瓶櫃輸出流量控制. 氣體產生機輸出控制. 火焰焊接控制. TMFM/TMFC系列存在哪些類型的質量流量控制器？ 熱質量流量控制器使用氣體的熱質感測技術來控制它們的質量流量。
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- 概觀
- 簡介
- 常見類型
- 流量計
- 常見問題
氣體質量流量控制器（MFC）與氣體質量流量計（MFM），MFC是帶有控制氣體質量流量的裝置，而MFM是不具有控制氣體質量流量功能的裝置。
首先區分一下
MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質量流量控制。流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的，簡稱科氏力。質量流量計以科氏力為基礎，在感測器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時，振動管作往復周期振動，工業過程的流體介質流經感測器的振動管，就會在振管上產生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經感測器的流體質量流量成比例關係。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經感測器時，振管的主振頻率不同，據此解算出介質密度。安裝在感測器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。
質量流量計直接測量通過流量計的介質的質量流量,還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。由於變送器是以單片機為核心的智慧型儀表，因此可根據上述三個基本量而導出十幾種參數供用戶使用。質量流量計組態靈活，功能強大,性能價格比高，是新一代流量儀表。
測量管道內質量流量的流量測量儀表。在被測流體處於壓力、溫度等參數變化很大的條件下，若僅測量體積流量，則會因為流體密度的變化帶來很大的測量誤差。在容積式和差壓式流量計中，被測流體的密度可能變化30%，這會使流量產生30～40%的誤差。隨著自動化水平的提高，許多生產過程都對流量測量提出了新的要求。化學反應過程是受原料的質量(而不是體積)控制的。蒸氣、空氣流的加熱、冷卻效應也是與質量流量成比例的。產品質量的嚴格控制、精確的成本核算、飛機和飛彈的燃料量控制，也都需要精確的質量流量測量。因此質量流量計是一種重要的流量測量儀表。
質量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質量流量；另一類為間接式或推導式，如套用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進行乘法運算以得出質量流量。
直接式質量流量計 直接式質量流量計有多種類型，如量熱式、角動量式、陀螺式和雙葉輪式等。
1. 容積式流量計，又稱定排量流量計。它利用機械測量元件把流體連續不斷的分割成單個已知的體積部分，根據測量室逐次重複的充滿和排放該體積部分流體的次數來測量流體體積流量。
2. 浮子式流量計，又稱轉子流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。
3. 差圧式流量計 ，是根據安裝於管道中流量檢測件產生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀表。
4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線型游渦發生體，流體在發生體兩側交替的分離釋放出兩串規則地交錯排列的游渦的儀表。
5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類，它採用多葉片的轉子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導出流量或總量的儀表。
6. 超聲流量計，通過檢測流體流動對超聲束（或超聲脈衝）的作用以測量流量的儀表。
簡介
目前，國內使用最為廣泛的是熱式氣體質量流量計。其原理如下： “在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，並將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產生的溫度差和流體的質量流量成比例的原理，來測定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周圍環境熱交換系統之間的熱傳導係數； K -------儀表常數） 想像一下……放置兩台電熱器，用一條線將兩台電熱器連線起來，自己坐線上的中點處交叉的直角線上，很暖和。兩台電熱器發散同樣的熱量，你坐在離兩台電熱器同等距離的正中間位置，接受雙方的熱量，是溫度最高的地方。在這個炎熱的季節，說這樣的話，真是熱得無法忍受啊…… 這時，在側面加一個電風扇，離電風扇近的一方發散出來的熱，被吹到遠一點的電熱器，你坐的地方也會覺得稍微涼一些。風扇吹得越快就越涼快。 這和熱式感應管中的道理一樣，風扇的強度（風量）=氣體的流量。反過來，要想檢測流量的話，可以說“測量一下氣體流過的時候兩台電熱器之間移動的熱量即可”
用途
1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質量流量測量控制； 2. 石油化工、採油、火炬氣質量流量測量； 3. 燃燒爐用空氣品質流量測量控制;燃汽輪機氫氣質量流量和控制； 4. 食品加工及飲料氣體質量流量和控制； 5. 水廠氯氣質量流量控制； 6. 生產半導體時高純度氣體質量流量測量； 7. 催化劑、化學添加劑質量流量測量； 8. 泵的保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測； 9. 空調系統控制； 10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮氣等質量流量測量。 11. 氣體分析儀，大氣採樣器 12. 泄露監測 13. 氣體分配系統 14. 實驗室氣體測量 15. 醫學套用 16. 燃料電池 17. 套用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數氣體。
實際使用中發現，當輸入的氣體不同時控制顯示的數值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業中，有一種參數叫CF，即氣體轉換係數（下面簡稱CF）。而MFC行業中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。
CF大於1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Ar(氬)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。我覺得如果稍微了解氣體的話，就會分出苗條的輕量級和大力士的重量級。雖然有一部分例外，但一般是這樣的。
假設某台MFC是用N2標定的，但是實際流過的氣體是He，實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡單的說就是He氣相同示數時，是N2的1.4倍流量。反過來，如果N2流過He的MFC，實際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量
因此控制器發現流量不準時，考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同。
氣體質量流量計/質量流量控制器應用. Alicat MFC、MFM從氣體監測分析到工業過程控制。 客戶行業：實驗科研、環境保護、生物醫藥、過程控制、能源化工、半導體電子以及相關的公共事業。 應用領域：計量檢測、洩漏測試、生物發酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。 高層大氣測試. 高空氣球，用來研究天氣模式和了解高層大氣的各個方面，充滿了氦或氫。 他們必須仔細量化有浮力的氣體的質量，以提供所需的升力。 如果氣球升得太高，就會爆炸。 如果太小，氣球就沒有足夠的升力達到理想的高度。 評估浮力的一種常用方法是在地面上使用砝碼和秤來測量升力；但與具有累加器功能的Alicat質量流量控制器相比，這是非常不准確和繁瑣的。
危險區域的氣體流量控制 與 Bronkhorst® 控制閥結合使用，質量流量計 (MFM) 可用作質量流量控制器 (MFC)。 控制閥可以選擇一體式或者分體式安裝，以測量和控制氣體流量。 EX-FLOW 閥配備防爆線圈，有兩種型號可供選擇：
